中科儀北交所上市：真空技術筑壁壘賦能國產半導體核心部件突圍

2026年4月29日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）正式在北京證券交易所掛牌上市。

據披露，中科儀是國內領先的半導體制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商，主營業務涵蓋干式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售及相關技術服務。其產品主要包括用于集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導體領域的干式真空泵，以及服務國家重大科技基礎設施與前沿科研的真空科學儀器設備。

在資本市場對企業成長性與基本面高度關注的當下，中科儀從技術積累、客戶布局到產業邏輯的深層脈絡，恰恰彰顯了其以長期主義深耕硬核科技的穩健底色。公司營業收入由2023年的85,178.72萬元增至2025年的129,120.84萬元，復合增長率為23.12%；歸屬于母公司所有者的扣除非經常性損益后的凈利潤由2023年的7,298.08萬元增至2025年的10,297.96萬元，復合增長率為18.79%。主業增長態勢穩健，業績高增的背后是技術實力與市場需求的雙向契合。

來源：攝圖網

深度綁定優質客戶，多元布局筑牢增長基本盤

中科儀與頭部客戶的長期穩定戰略合作，本質是產品競爭力的直接證明。自2017年以來，公司持續通過新品開發、質量升級與成本優化，實現產銷量規模與客戶覆蓋范圍的雙提升。截至目前，公司集成電路領域企業客戶已超100家，覆蓋國內主流晶圓廠與頭部集成電路設備制造企業，旗下干式真空泵產品更通過臺積電、大連英特爾、SK海力士等國際頭部客戶的測試驗證并實現小批量出貨。

這種合作并非依賴短期關系，而是建立在技術實力與產品可靠性基礎上的雙向認可。深度綁定不僅為公司提供了穩定的營收基本盤，更通過長期合作持續打磨技術、優化產品，形成“技術升級—客戶認可—迭代創新”的正向循環。

在市場拓展層面，公司一方面不斷挖掘存量客戶的新增需求，在自身產品具有優秀技術能力的基礎上，通過具有市場競爭力的產品價格、高效優質的服務等手段，增加公司不同系列的干式真空泵產品在存量客戶覆蓋的工藝類型，提升產品出貨量。另一方面，公司不斷加大新客戶的開發力度，同時得益于公司產品在主要下游領域頭部客戶均得到應用，從而形成了良好的品牌效應，有力地支持了公司獲取新客戶，報告期內公司陸續開發上海鼎泰匠芯科技有限公司等客戶，推動了收入的快速增長。

技術壁壘筑高墻，國家級平臺支撐國產替代

作為中國科學院下屬深耕潔凈真空與超高真空技術的核心企業，中科儀前身自1958年便扎根真空技術研究，歷經半個多世紀沉淀，如今已成為我國真空技術與高端真空儀器領域的攻堅主力軍。公司坐擁真空技術裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝置工程技術研究中心、國家企業技術中心三大國家級研發平臺，報告期各期（2023年-2025年），公司核心技術產品收入分別為75,338.74萬元、95,833.16萬元、107,261.95萬元，占營業收入比例分別為88.45%、88.55%、83.07%。公司核心技術產業化能力較強。

此外，公司通過多年的研發積累和工藝創新，自主研發形成了8大核心技術，截至2025年12月31日，公司已經獲得授權的發明專利103項、實用新型專利20項，并取得軟件著作權登記37項，技術創新成果豐碩。

在集成電路領域，中科儀已打造出多項“國產唯一”的核心優勢。公司是國內出貨量領先的國產干式真空泵廠商，截至2025年，各類干式真空泵累計出貨量已超4萬臺，其中集成電路領域出貨量突破3萬臺。據市場測算，2024年公司干式真空泵在國內集成電路領域市占率約12.72%，成功打破歐美及日本企業在該市場的長期壟斷格局。

同時，中科儀也是唯一實現集成電路先進制程批量應用的國產廠商，產品可支撐14nm先進邏輯芯片及128層及以上3DNAND等高端存儲器工藝需求；更是唯一在清潔、中等、苛刻全工藝場景實現批量應用的國產企業，有力保障了我國集成電路制造設備核心零部件的自主可控與產業鏈供應鏈安全。

其核心產品擁有極高的技術壁壘，超高真空設備的極限真空度、穩定性等關鍵指標已達國際先進水平，部分產品成功打破海外壟斷。這種技術實力支撐產品向半導體、光伏、鋰電、制藥等多個高景氣領域廣泛滲透：從科研院所的基礎研究場景，到半導體產線的量產核心環節，再到新能源與高端制造領域的工藝升級，中科儀的產品正深度融入各產業鏈核心環節。

下游藍海廣闊，長期主義錨定硬核增長

下游應用的廣泛性，既讓中科儀具備更強的抗周期能力，也打開了長期成長的天花板。當前國內高端裝備自主化需求持續提升，半導體、光伏、鋰電等下游行業迎來擴產浪潮，干式真空泵作為核心工藝設備，市場需求持續旺盛。

從產業邏輯來看，中科儀的增長并非短期市場紅利驅動，而是建立在“技術為根、客戶為基”的長期主義基礎之上。公司將研發投入轉化為技術成果，將技術成果轉化為產品競爭力，再將產品競爭力轉化為市場份額，形成了閉環式的增長體系。

隨著公司正式登陸北交所，資本市場的賦能將為公司帶來更多發展機遇，助力公司在研發創新、產能擴張、市場拓展等方面持續發力，進一步提升核心競爭力。在資本市場普遍追逐“快增長”的當下，中科儀選擇以長期主義錨定技術深耕，在高端科研儀器領域走出了一條扎實的國產替代之路。