(一)防靜電地面

潔凈廠房的防靜電工程裝飾主要包括防靜電地面、墻面和頂棚的防靜電以及防靜電工作區的門窗等。防靜電環境地面應根據不同的產品工藝要求、土建結構基礎條件和防靜電要求合理進行不同防靜電地面的選型，在國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)中要求:防靜電地面的面層結構和材料的選擇，應滿足電子產品生產工藝的要求;防靜電地面的表面應采用靜電耗散型材料，其表面電阻率為1X10^8~1X10^12或體積電阻率為1X10^4~1X10^9°。

通常可選用貼面地面、活動地板、樹脂涂層自流平地面、水磨石地面和移動式地墊等。各種類型的防靜電地面均應具有穩定、長效的導靜電性能和可靠的靜電泄放接地系統，一般防靜電地面導電層的接地引出點不得少于2處，且點與點間的距離不應大于25m。

（1）貼面型防靜電地面通常有塑料貼面塊、磚、卷材和陶瓷地磚大理石板等類型，貼面地面的結構宜由基礎地坪、底涂、導電層、面層組成。貼面地面的基礎地坪應滿足含水率不大于8%，混凝土強度等級不小于C30，表面平整度不大于2mm的要求;

底涂宜滿足封底、黏結橋、絕緣隔離層的要求;導電層應鋪設接地金屬箔帶網格，并用導電黏膠與上鋪面層黏結，導電黏膠的電阻值應小于面層材料的電阻值;面層的材料和技術指標應按防靜電工作區的分級符合相應的要求。接地金屬箔帶網格宜選用寬10~20mm、厚0.03~0.10mm的紫銅箔帶，網格大小可為600mmX600mm，當貼面地面為卷材時，網格可為1200mmX1200mm:網絡引出銅箔帶應與室內接地干線焊接;網格交叉點應錫焊或用導電黏結劑黏結。

（2）防靜電活動地板的安裝方式可分為四周支撐式(bearing of four jamb)和四角(bearing of2four corner)支撐式。四周支撐式由地板、可調支撐、橫梁和緩沖墊(導電膠墊)等組成，這是將地板鋪設在模梁上的安裝方式;在室內溫度為23°C±2°C、相對濕度為45%~55%時，活動地板系統的電阻為:導靜電型應小于1.0X10°0，靜電耗散型應為1.0X10°~1.0X10°0。活動地板電阻是指地板上表面至地板支撐底座的電阻總和。

活動地板支撐的底部宜設置絕緣襯墊，接地連接導線(接地支線)應采用不小于1.5mm2截面積的多股塑銅線;潔凈室內的接地干線在活動地板下敷設時，應與地面絕緣。

活動地板的基材有木基、復合基、鋁基、鋼基、無機質基，活動地板的結構有普通結構和特殊結構兩大類。特殊結構地板有通風地板、走線地板和接線盒地板，而在潔凈廠房應用較多的通風地板又可分為可調風口地板、旋風口地板和大風量地板。

活動地板的承載能力類型有超輕型、輕型、普通型和重型。表1.12.20是活動地板的基材、承載能力分類。活動地板的機械性能、電性能等及其檢測方法應符合行業標準《防靜電活動地板通用規范》(SJ/T10796)的有關規定，例如在該標準中對活動地板的電性能要求是:在室內溫度為(23±2)°C，相對濕度為45%~55%時.活動地板系統的電阻為:導靜電型R<1.0X10°0，靜電耗散型R=1.0X10^6~1.0X10^10。

樹脂涂層自流平地面的結構應由基礎地坪、底涂層、找平層、導電層和面層組成。樹脂涂層自流平地面的厚度應為底涂層、找平層、導電層和面層厚度的總和，且不應小于2mm。樹脂涂層自流平地面的基礎地坪、底涂層、導電層與貼面地面相應的結構層要求一致;

找平層應滿足補充底涂的封底、黏結橋、緩沖找平的要求;面層采用具有導靜電或靜電耗散性能的樹脂面層涂料.厚度不宜小于0.8mm;導電層接地金屬箔帶網格的結構、要求也與貼面地面相同。樹脂涂層自流平地面各層結構的凝膠材料應為同一性能的樹脂涂料，涂料的耐磨性、附著強度和涂膜硬度應符合《防靜電地坪涂料通用規范》(SJ/T11294)的有關規定。自流平地坪涂料，是在水平基面上涂覆后能自身流動找平，一遍施工厚度在0.5mm以上的地坪涂料。

采用多層涂料時，直接涂在地板基體上的涂料稱為底涂(料)，而涂在多層涂裝最上層的涂料，則稱為面涂(料)。面涂料可分為導靜電型和靜電耗散型，在《防靜電地坪涂料通用規范》(SJ/T11294)中將導靜電型自流平防靜電地坪涂料面涂以“TDZm”表達，具有彈性的靜電耗散型自流平地坪涂料面涂以“THZmt”表達，靜電耗散型普通防靜電地坪涂料面涂以“THPm”表示，防靜電地坪涂料底涂以“Td”表示。表1.12.21是自流平防靜電地坪涂料面涂的技術要求，表1.12.22是防靜電地坪涂料底涂的技術要求。

(二)防靜電工作區的墻面、頂棚和門窗

潔凈廠房中防靜電環境或防靜電工作區內墻面、柱面和頂棚、門窗等的防靜電裝飾目的是抑制顆粒污染物的帶電吸附，以利于控制環境的潔凈度:抑制靜電噪聲的空間傳導及其與電噪聲的耦合，凈化防靜電工作區的電場環境，得到的實際效果是控制防靜電環境的靜電電位。

為此在國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)中規定潔凈廠房防靜電環境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設計，應符合下列要求:一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型;導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10~1X10°2，摩擦起電電壓不應大于100V，靜電半衰期不應大于0.1s。

二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型:靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10~1X10°2，摩擦起電電壓不應大于200V，靜電半衰期不應大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V。三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料;選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應達到二級防靜電工作面的相關要求，選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等摩擦起電電壓不應大于1000V。

在國家標準《電子工程防靜電設計規范》(GB50611)中對防靜電工作區的墻面、頂棚和門窗等的防靜電設計做了明確的規定。對防靜電工作區的頂棚和墻、柱面裝飾有導電層要求時，應制定合理的導電層方案，并應采用十字形構造銅箔或設置多點間接接地的接點;當頂棚和墻、柱面裝飾設置基層骨架時應選用金屬材料，金屬骨架應接地。

接地連接點的設置每個房間不應少于4處，相鄰連接點之間的距離不應大于18m。頂棚和墻、柱面裝飾的罩面板應選用導靜電型、靜電耗散型材料，其性能應滿足各等級防靜電工作區的防靜電參數要求，以利于靜電的可靠、泄漏，確保靜電電位絕對值不大于100V。一級防靜電工作區的墻、柱面應設置導電層:二級防靜電工作區的墻、柱面不設置導電層時，應涂刷防靜電涂層或裝飾靜電耗散層，其性能應符合靜電耗散材料的技術指標要求。

潔凈廠房內空氣潔凈度5級以上的潔凈環境或嚴格限制靜電吸附場所的頂棚和墻、柱罩面層的靜電耗散技術指標，應根據產品生產工藝要求或試驗確定。當使用導靜電無機板材時，表面不應另覆涂層;表層使用金屬面板時，應具有靜電耗散性能的防靜電面層。般抹灰墻面或使用水性涂料、天然或人造石材作為表層時，應涂刷具有靜電耗散性能的涂層或做其他防靜電處理;若所在場所環境濕度保持在45%~65%時，可不做防靜電處理。

防靜電工作區的門窗，在一、二級防靜電工作區應選用靜電耗散材料制作門或采用靜電耗散材料貼面。三級防靜電工作區可選用低起電材料。金屬門窗表面應涂刷具有靜電耗散性能的涂層，并應接地。選用靜電耗散材料貼面的門及窗其外框應有導靜電泄放的接地連接。

二級防靜電工作區的建筑外圍有采光窗時，應設計為雙層，其內層窗應滿足上述有關要求，防靜電工作區內門窗與墻體周邊應選用具有靜電耗散性能的彈性密封材料填嵌。一、二級防靜電工作區室內隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其內表面應粘貼具有靜電耗散性能的透明薄膜或采用透明的防靜電塑料板和具有防靜電性能的玻璃板。

潔凈廠房內防靜電環境或防靜電工作區的凈化空調系統送、回風口和風管以及各種工業管道的進出口裝置，應選用導電材料或表面涂刷防靜電涂層，也可按工藝要求進行防靜電處理。

送、回風口和各種進出口裝置與配管系統之間應有可靠的電氣連接，并應接地。防靜電工作區的溫度波動范圍應滿足工藝要求，宜為18~28°C。相對濕度及波動范圍應滿足工藝要求，宜為45%~65%。

（三）防靜電接地

防靜電工作區均應設有防靜電接地系統，通常應由接地體、接地干線和支線、接地端子板、接地網絡或閉合銅排環等組成。防靜電工作區中應含有不同功能要求的接地系統，各接地系統的設計都應符合等電位連接的要求，不同接地系統在接入等電位端子前不應混接。

防靜電接地宜選擇聯合接地方式，當選擇單獨接地方式時，接地電阻值不應大于100，并應與防雷接地裝置保持20m以上的間距。防靜電工作區頂棚、墻面、地面的防靜電接地及人體防靜電接地、操作裝置和儀器的防靜電接地，應分別選擇適當位置設置接地連接裝置。

接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應保證電氣連接可靠。在防靜電工作區內應設置防靜電接地端子板、接地網格:或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環。

防靜電接地引線應從防靜電接地端子板、接地網格或閉合銅排環上就近接地，接地引線應使用多股銅線，導線截面積不應小于1.5mm”防靜電接地系統在接地前應設置總等電位接地端子板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板，從總等電位接地端子板或樓層等電位接地端子板上引出的接地主干線，其截面積不應小于95mm，并應使用絕緣屏蔽電纜或絕緣導線穿金屬管敷設。

接地主干線引到防靜電工作區時應與設置在該區域內的防靜電接地端子板連接。防靜電接地系統各個連接部位之間的電阻值不應大于0.10。防靜電接地主干電纜應避免與非屏蔽電源電纜長距離平行敷設，并應遠離防雷引下線。防靜電接地主干電纜的屏蔽金屬層應兩端接地。

防靜電接地連接應采用焊接或用連接器具連接的方式，連接器具應能與接地對象可靠地連接。當接地對象采取間接接地時，應在接地對象上裝設緊密結合的可靠的金屬導體，并應在金屬導體上引出接地導線。金屬導體的緊密結合面積不應小于20cm2。防靜電接地系統的典型布置見圖1.12.12。

防靜電工作區中不得有對地絕緣的孤立導體，所有金屬結構件都應可靠接地。當兩個以上的金屬結構件相互絕緣時，應將各自的金屬結構件進行接地，或在其相互之間連接跨接線，并應接地。

防靜電工作區中空氣調節系統的風管和各種工業管道均應采取接地措施，接地連接點之間的距離不應大于30m:接地連接點的構造應符合設計要求:采用普通的法蘭或螺栓連接:且中間存在非導體隔離時，應采取跨接措施。

防靜電工作區的配管系統中，使用部分絕緣性材質的配管時，應在配管表面安裝緊密結合的金屬網，并應將金屬網接地;使用導電性非金屬軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的接觸面積不小于20cm2的金屬導體，并應用接地引線與金屬導體可靠連接接地。

電子產品生產用潔凈廠房內的金屬物體(包括潔凈室(區)的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架)應與接地系統做可靠連接;導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩定性，主干線截面不應小于95mm，支線截面應為2.5mm2;與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MO2。

在潔凈廠房的工程設計中，靜電接地干線和接地體應與其他用途的接地裝置綜合考慮，統一安排。靜電接地干線與專作防雷保護用的防雷裝置應保持必要的距離，可利用電氣保護接地干線作為靜電接地干線，但應確保靜電接地干線在建(構)筑物內與保護接地干線有兩點相連。

《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)中要求:對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備，流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施;可燃氣體管道和氧氣管道均應設置導除靜電的接地設施:潔凈廠房內可燃氣體、液體及粉體的管道根據具體情況在適當的位置可利用抱箍或焊接作好接線端子，由接地端子引出接地線與廠房內的接地網相連接。

在有鋼支架或鋼筋混凝土支架時，如條件合適，也可利用金屬軟線將管道與鋼支架或鋼筋混凝土支架的鋼筋連通作為接地引下線。

幾種防靜電接地的典型方式見圖1.12.13~圖1.12.16。

來源：網絡

免責聲明：凡本公眾號注明“來源”的文章、視頻、圖片等均轉自相關媒體或網絡，轉載此文出于傳遞更多信息之目的，并不意味著贊同其觀點或證實其描述。其版權歸原作者和原出處所有，如有侵權，請及時通知我們，以便第一時間刪除。

【若二維碼失效，請添加微信：3120448392 拉進微信群】

如果喜歡，請點個贊~~