leading-">ASML現任CEO克里斯托弗·富凱把話說得很直:中國現在能從ASML拿到的DUV光刻機,基于的是ASML在2015年開發的技術平臺。按2026年往回算,已經是11年前的東西。
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leading-">這句話真正刺耳的地方,不是“落后11年”這四個字,而是它背后的產業邏輯。一個全球最核心的光刻機供應商,明知道中國客戶拿不到最先進設備,也明知道繼續收緊只會逼中國加速自研,卻仍然被卷進一輪又一輪出口管制里。這還只是商業問題嗎?當然不是。光刻機早就不只是設備,它已經變成半導體產業鏈里最硬的一道門。
leading-">富凱在接受路透社采訪時用了一個很狠的比喻:如果把一個人扔進沙漠,告訴他以后再也沒有食物來源,只給他一些老舊材料和工具,他要多久才能自己開墾出一塊菜園?這不是興趣問題,不是效率問題,是存亡問題。
leading-">中國半導體產業現在面對的,就是這個“沙漠問題”。
leading-">ASML投資者交流文件顯示,NXT:1970i在2013年首次出貨,NXT:1980i在2016年首次出貨。兩者都是浸潤式DUV光刻機,差別主要落在對準精度和制造效率上。對準更準,吞吐更高,工藝窗口就更靠前,能支撐的制程也更先進。光刻機不是一臺孤立機器,它決定的是整條產線能不能跑、能跑到哪里、能不能穩定量產。
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leading-">這些成熟浸潤式設備,恰恰是大規模制造成熟芯片的關鍵工具。28nm及以上的平面晶體管芯片離不開它,通過多重曝光,14nm及以下FinFET立體晶體管結構芯片也能被推進。這就是為什么DUV看上去不如EUV耀眼,卻依然卡在產業命門上。它不是“老設備”,它是產能底座。
leading-">出口管制的刀,偏偏就落在這里。
leading-">在美國壓力下,荷蘭政府已經先后撤銷ASML NXT:2000i及以上浸潤式光刻機對華出口許可,又針對中國大陸先進制程晶圓廠封鎖NXT:1970i及以上設備。到了2026年4月,美國推動的MATCH法案繼續加碼,把中芯國際、華虹、長江存儲、長鑫存儲、華為這5家中國企業推向更完整的封鎖清單,目標很明確:禁止ASML向這些企業出口所有型號的浸潤式光刻機。
leading-">這不是“保持技術領先”,這是直接切斷工具來源。
leading-">可問題也正出在這里:如果一家企業可以買設備,它會算賬,會比較,會選擇最成熟、最穩定、最經濟的方案;如果買不到,它就只能把錢、時間、人才和試錯全部砸進自主研發。你不讓它買,它就只能造。你越把門關死,它越沒有退路。
leading-">富凱并不糊涂。他前后幾次表達的意思很清楚:西方希望保持對中國技術領先,所以用出口管制拉開距離;但這個距離不能無限擴大,一旦擴大到中國企業無法承受,它們就會研發自己的制造設備,擺脫困境。說得再直白一點,管制本來想維持優勢,最后可能是在培養對手。
leading-">這不是ASML第一次發出類似警告。ASML前任CEO彼得·溫寧克早就說過,美國越是制裁中國,中國越有可能開發出與ASML匹敵的自主光刻設備。現在看,這句話不是客套,也不是替中國說話,而是一個長期做產業的人看到了技術封鎖的反作用力。
leading-">企業怕什么?怕客戶消失。更怕客戶在被迫消失之后,變成競爭者。
leading-">中國大陸市場在2025年為ASML貢獻了33%的總營收。受出口管制影響,ASML預計2026年中國大陸市場營收占比會下降到20%。這組數字很扎眼:一邊是重要客戶,一邊是越來越窄的出口空間;一邊是商業利益,一邊是外部管制。ASML當然不愿意失去中國市場,但它也不可能完全擺脫規則約束。于是它開始尋找新的增長點,比如與印度塔塔電子合作,為印度正在建設的12英寸晶圓廠提供DUV光刻機,用于制造28nm及以上成熟工藝芯片。
leading-">看懂了嗎?成熟制程不是沒人要,而是太多人要。汽車、工業、通信、電力、消費電子,真正支撐龐大制造體系的,并不全是最尖端的那一小撮芯片。成熟芯片的產能穩定性,決定著大量產業能不能正常運轉。DUV設備被卡住,影響的也不只是幾家晶圓廠,而是一整條制造鏈的安全感。
leading-">中國這邊的路徑也已經很清楚:自主可控,規模化應用。不是因為這條路容易,而是因為別的路正在被堵。現在中國先進芯片的規模化制造,仍然依賴此前從ASML采購的DUV光刻機;國產浸潤式光刻機已經進入工藝測試階段,但還沒有具備直接在生產線上替代ASML浸潤式設備的能力。這個差距必須承認。承認差距,才知道該往哪里打。
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leading-">從干式光刻到浸潤式光刻,是一次真正的技術跨越。公開信息顯示,全球具備浸潤式光刻機制造能力的企業只有四家:荷蘭ASML、日本尼康、日本佳能、中國上微。這個名單已經說明問題。光刻機不是靠喊出來的,也不是靠買幾臺零件拼出來的,它涉及光源、物鏡、工件臺、控制系統、材料、工藝適配和整機穩定性。任何一個環節不穩,量產就會翻車。
leading-">所以國產替代不會一夜完成。
leading-">但另一件事也不會變:只要限制繼續存在,國產化的壓力就會繼續變成投入,投入繼續變成驗證,驗證繼續逼近量產。封鎖不是靜止的墻,它會制造持續的反推力。過去中國企業買設備,是為了生產;現在中國企業造設備,是為了活下去。這就是存亡問題。
leading-">ASML真正擔心的,不是短期少賣幾臺機器,而是長期失去一個巨大市場的技術依賴關系。一個被允許購買的客戶,永遠是客戶;一個被逼到必須自研的客戶,遲早會變成競爭者。出口管制想鎖住先進設備,卻也在把中國半導體產業推向更徹底的自主路線。
leading-">最后的判斷很硬:光刻機這場拉鋸,表面看是設備出口,深層看是產業鏈主導權重排。誰以為把11年前的平臺留給中國,就能把中國永遠鎖在11年前,誰就是低估了存亡壓力對一個制造大國的推動力。
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