前沿導讀

據《日經中文網》新聞指出，在上個月結束的上海半導體展會當中，許多中國芯片設備廠商紛紛發布了自家新產品以及未來的技術規劃。

并且多位中國半導體產業領軍人也提出了新時期的產業發展目標，力爭到十五五結束的2030年，將國內半導體產業的自給率提升至80%，針對電路線寬為7nm的芯片，建設全部采用國產設備制造的生產線并且進行試運行，同時還要實現14nm芯片產業鏈的國產化穩定運行。

在被美國卡脖子嚴重的EUV光刻機領域，也要實現技術進步，聯合所有力量組建屬于中國的ASML公司，解決國產先進光刻機的量產制造問題，全力以赴在芯片產業上追趕海外強國的腳步。

參考資料：
中國半導體自給率能實現80%嗎？

• https://mp.weixin.qq.com/s/f0YNg1qP6n62PgTB_DfgLQ

提升自給率

每年一屆的上海半導體展會，是全中國規模最大、參展數量最多、入場觀眾最多的半導體產業盛會。每當展會開始，各大參展企業均會將自家最先進的設備以及最豐富的產品線以微觀模型或者宣傳畫冊的方式呈獻給參展觀眾。

在超過10萬平方米的展會面積當中，人流量較大、關注度較高、往來觀眾數量較多的展臺就是中國本土企業的展臺。

北方華創、中微公司、上海微電子&芯上微裝、盛美半導體等國產設備廠商紛紛將自家公司所制造的部分設備以等比例縮小的微觀模型方式呈現在觀眾面前。甚至上海微電子、芯上微裝等中國光刻機企業也將國產光刻機的模型搬到了展臺上面。

各大企業在上海半導體展會當中展出設備，最大的意義就是可以讓觀眾或者從業者清晰了解中國半導體自主設備的發展情況，讓大家對于中國芯片產業自主技術的發展有一個較為清晰的認知。

作為中國刻蝕機設備領軍企業的中微公司，其公司創始人尹志堯先生在接受媒體采訪時指出，工欲善其事必先利其器，中微公司堅持自主技術研發，不去復制國際層面已有的技術設備，走純國產技術的路線，并且利用自主知識產權對自家的技術設備形成保護壁壘。

中微公司所制造的半導體設備已經超過了30種款式，覆蓋CCP刻蝕設備、ICP刻蝕設備、CDP設備、EPI設備（外延沉積）以及MOCVD設備（氣相沉積）。并且所有設備均為自主技術研發，受到自主知識產權的國際法律保護。

截止2025年，中微公司支持5nm節點的刻蝕機已經累計出貨超2000腔，是中國半導體產業已量產階段最先進的制造設備。并且公司創始人尹志堯先生表示，中微公司將會通過自主技術研發以及并購的方式，在5至10年后將自家公司所能提供的高性能設備比例提高至60%以上。

刻蝕機與沉積設備在半導體設備市場中占據大約22%的市場份額，這個份額要比光刻設備還要高出5個百分點。

中微公司在尹志堯先生的領導下為中國半導體產業開了一個好頭，拿下了自主刻蝕機以及沉積設備這些僅次于光刻機的高精度產品。

除中微公司之外，北方華創也是最受關注的設備廠商之一，同時也是中國北方地區規模最大、營收能力最強、發展勢頭最強勁的國產設備廠商。在2025年全球半導體設備市場規模排名當中，北方華創排名第7，是前10名當中唯一一個上榜的中國企業。

北方華創的產品線覆蓋范圍廣泛，除了前端光刻機之外，幾乎涉及了后續所有制造設備，刻蝕、沉積、熱處理、外延、清洗等設備均有涉足。甚至中國半導體產業此前較為落后，高度依賴于美國應用材料的離子注入設備，北方華創也在2025年宣布旗下首款離子注入設備研發完成，開始進入市場化階段。

北方華創董事長趙晉榮先生對媒體指出，要始終將客戶的需求放在首位，通過與供應鏈伙伴的緊密協作，將客戶需求有效傳遞至供應鏈的每個環節。趙董這種注重客戶服務的理念，也是北方華創能持續爆發出頑強生命力的核心力量。

此前國產制造設備較為落后，很大原因是因為國外的技術設備成熟，許多本土企業考慮經濟因素選擇使用海外的制造設備，這導致國產設備缺乏市場空間，進而無法持續性優化產品，時間長了就變得越來越落后。

想要提升國產設備的技術水平，擁有與海外設備競爭的機會，首先需要將設備用起來，然后在使用的過程中一點點解決問題以提升國產設備的技術水平，從而在后續的發展中開發出足以替代進口設備的國產設備。

純國產供應鏈

2026年2月13日，由北方華創董事長趙晉榮、長江存儲董事長&中國半導體行業協會第八屆理事長陳南翔、清華大學微電子研究所教授魏少軍、中芯國際聯合創始人王陽元、華大九天董事長劉偉平等人在內的13位中國半導體產業專家學者聯合撰寫了《構建自主可控的集成電路產業體系》報告。

各位企業領導以及相關學者在報告中提議，十五五期間要繼續推動中國半導體產業實現自主技術的快速發展，大力度解決卡脖子的困境。聯合國內的技術力量組建類似于荷蘭ASML一樣的公司，去解決國產先進光刻機的量產問題。

然后依靠自主可控的國產設備，先將14nm產業鏈實現純國產化穩定制造，隨后向7nm等先進技術節點發起自主產業鏈攻關，力爭在2030年實現純國產7nm生產線的試運行，同時將國內半導體的整體提給率提升至80%。

美國國際商務戰略公司對此分析稱，根據中國設備企業在中國市場的供貨額進行推算，中國半導體產業在2024年的自給率為33%。想要實現規劃的目標，必須要面臨的問題是如何提升中國國產光刻機的技術競爭力。

在2026年上海半導體展會中，尼康、佳能、ASML這三家光刻機企業均進行了參展。

ASML在展會當中只有一個非常簡單的宣傳展臺，而尼康和佳能則是在展臺當中表示要深耕中國市場，甚至尼康還針對中國市場推出了特殊扶持政策，其中包括銷售二手光刻機、提供翻新服務、提供技術維護、提供安裝移機服務等行動，并且尼康在展會中還強調要依靠中國市場重返產業巔峰。

在面對自主技術難題與日本企業的技術“誘惑”時，中國企業需要付出更多的努力、下更大的決心朝著自主可控的產業目標前進。