中科儀啟動招股：唯一覆蓋全工藝國產干泵，存儲擴產訂單持續落地

本文來源：時代商業研究院 作者：陸爍宜

潮起東方，科技為帆。在半導體國產化浪潮奔涌、基礎科研自主可控成為國家核心戰略的時代背景下，關鍵核心設備的突破，既是產業升級的“必答題”，更是國家競爭力的“試金石”。

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”），以中科院七十載科研積淀為基，深耕真空裝備領域數十載。從打破國外壟斷到扛起國產化大旗，從服務國家重大專項到賦能半導體核心產業鏈，其發展軌跡始終與國家戰略同頻共振，每一步都精準踩在時代需求的關鍵點上。

這家真空設備領域的“國家隊”，不僅是市場層面的行業領軍者，更是國家破解半導體產業自主化難題、筑牢關鍵領域國產可控根基的戰略支點。

北交所官網顯示，中科儀已于2026年4月10日啟動北交所發行，距正式登陸資本市場僅一步之遙。此次發行上市，中科儀有望借助資本市場的東風淬煉技術實力，以硬核科技詮釋中國智造的力量，在產業之巔書寫屬于中國裝備制造的新篇章、為半導體全產業鏈國產化注入持久動能。

使命錨定：國家戰略澆筑的品牌護城河與產業底氣

半導體產業的自主可控，離不開半導體制造關鍵設備及零部件的技術突破，而真空泵正是其中的“心臟部件”——集成電路產業15個主要工藝環節中，11個需依賴真空泵構建潔凈真空環境，占比超70%。一旦干式真空泵出現故障，將直接導致生產線停擺，其戰略重要性不言而喻。

此前，干式真空泵的研發、生產技術一直被歐洲、日本等國外企業壟斷，成為制約我國集成電路供應鏈安全的難題之一。而在高端真空設備領域，中科儀的歷史底色，始終與“打破壟斷、從0到1”的使命緊密相連。

經過數十年的技術沉淀，2001年，中科儀成功研發出用于科研領域以實現清潔真空環境的渦旋干式真空泵，打破國外廠商對干式真空泵市場的長期壟斷，拉開了該領域國產化的序幕。

自2005年以來，中科儀更是連續13次承擔“02專項”“863計劃”“國家重點研發計劃”等國家級重大科研專項或課題，在真空科學儀器設備的技術壁壘中持續突圍。其中，依托國家“02”重大專項，中科儀研發出3個系列9個型號干式真空泵（機組），實現半導體領域用干式真空泵的技術壁壘突破，實現了干式真空泵的產業化落地，終結了國外企業的壟斷格局。

中科儀前進的腳步并未停止，此后仍持續優化干式真空泵的性能、提升產品質量，產品得到長江存儲、長鑫科技、中芯國際、華虹宏力等頭部集成電路制造企業多條產線的大批量應用，以極強的戰略必要性與需求剛性，成為產業鏈不可或缺的核心環節。

如今，中科儀已經成為集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業——既是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，也是唯一在清潔、中等、苛刻全工藝場景均實現批量應用的國產企業，其產品可滿足14nm先進邏輯芯片及128層以上3DNAND工藝需求，有效保障了我國集成電路制造設備關鍵零部件的自主可控與供應鏈安全，奠定了其在高端真空設備領域不可替代的行業地位。

這份底氣，更源于其“中科院系”的獨特基因與頂級資源加持。股權結構顯示，中國科學院控股有限公司持有國科科儀控股有限公司100%股權，并通過國科科儀控制中科儀35.21%股份，是中科儀的實際控制人。中科院的強力背書，為中科儀賦予了頂尖的人才引力、前瞻的科研洞察與深厚的信譽資產，構成了國內競爭對手難以逾越的戰略安全墊。

更值得關注的是，國家集成電路基金的戰略持股，進一步將中科儀的品牌優勢推向新高度。國家大基金的入股，絕非單純的資金支持，更向市場傳遞了強烈信號——中科儀已被納入國家集成電路產業發展的核心梯隊，其技術實力與發展潛力得到國家層面的高度認可。

創新驅動：技術飛輪轉動的成長動能與市場格局

如果說國家使命與頂級資源加持是中科儀的“外部護城河”，那么以持續創新構筑技術壁壘、以龍頭地位撬動市場增長的內生發展邏輯，則是其將戰略稀缺性轉化為可持續商業成功的核心動能。

要實現從“跟跑”到“領跑”的跨越，離不開從0到1的原始創新突破，而這正是中科儀始終堅守的發展內核。作為誕生之初就肩負著服務國家科研使命的企業，中科儀早已將創新基因深深植入企業發展的血脈之中。

在干式真空泵技術探索這條充滿未知與挑戰的道路上，中科儀依托真空技術裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝置工程技術研究中心、國家企業技術中心三個國家級研發平臺的強大支撐，在干式真空泵領域不斷實現關鍵技術突破，逐步構建起高端技術壁壘。

集成電路行業由于對干式真空泵真空壓力穩定性、抗大氣載沖擊能力、抗特氣腐蝕、無故障運行時間以及占地尺寸等性能指標要求更高，而呈現較高的技術壁壘。在該領域，羅茨干泵憑借其獨特的轉子型線設計、氣體流通通道設計、動密封結構設計等，在集成電路行業呈現更好的適配性。在技術原理方面，中科儀與Edwards等國際競爭對手基本均采用羅茨技術，技術原理不存在重大差異。

從產品性能上看，無論是清潔工藝（如量測、光刻等）、中等工藝（如去

膠、刻蝕等）、還是苛刻工藝（如金屬刻蝕、CVD），中科儀典型產品關鍵指標均與國際競爭對手處于同一水平。這也意味著，中科儀的產品已經具備與國際競爭對手同臺“掰手腕”的硬核實力。

這份實力，與中科儀對研發創新的高度重視密不可分。作為中科院下屬企業，長期以來中科儀高度重視技術創新。財務數據顯示，2023年公司研發費用達8465.08萬元，2024年研發費用增至1.10億元，近年來，中科儀長期保持高比例研發投入，研發費用率達到10%左右。

持續的研發投入，結出了豐碩的知識產權成果。通過多年的研發積累和工藝創新，中科儀自主研發形成了8大核心技術，截至2025年底，該公司已經獲得授權的發明專利103項、實用新型專利20項，并取得軟件著作權登記37項。同時，中科儀還負責或作為主要參與方起草了13項真空技術相關的國家、行業及團體標準，引領行業技術規范發展；2022年承擔攻關任務，研發應用于先進制程苛刻工藝的干式真空泵；公司先后獲國家科學技術進步特等、一等、二等、三等獎共6項，中國科學院及省部級科學技術進步獎20余項，彰顯了其深厚的科研實力。

技術硬實力穩步落地，最終轉化為產品市場影響力與客戶認可度。公司中科儀的產品廣泛支持國內主流晶圓廠，以及國內主流集成電路設備制造企業。

截至目前，中科儀各類干式真空泵的出貨量已累計超過4萬臺，其中集成電路領域出貨量超3萬臺。根據市場預計數據測算，2024年該公司干式真空泵在集成電路領域國內市占率約為12.72%，不僅成功打破歐美及日本企業在國內市場長期壟斷，而且公司憑借優質的產品質量和持續不斷的研發創新，現已居于行業頭部領先地位。放眼國際市場，中科儀的競爭力同樣凸顯。該公司產品已通過臺積電、SK海力士的測試驗證并實現小批量出貨，標志著其技術水平獲得全球頂尖企業認可。

從市場前景來看，受益于近年來集成電路產業的穩定增長，干式真空泵產業也保持著良好的發展態勢。根據SEMI預計數據及測算結果，2024年全球集成電路領域干式真空泵的市場規模約125.74億元。我國是全球集成電路產業最主要的市場之一，受益于我國政府大力支持相關領域發展，近年來我國集成電路制造能力迅速提升，根據SEMI預計數據及測算結果，2024年中國內地集成電路領域干式真空泵的市場規模約52.11億元，市場空間廣闊。

作為國內龍頭，中科儀不僅將成為行業增長的受益者，更是國產化率提升這一結構性變革的主導者之一。雙重動能的加持，為其未來的增長提供了極具彈性的想象空間。

從國家實驗室走向全球晶圓廠，中科儀的旅程印證了一個道理：真正的自主可控，源于持之以恒的創新，成于市場嚴苛的錘煉。這不僅僅是一家公司的成功，更象征著中國高端制造如何憑借戰略定力與創新韌勁，在曾被牢牢封鎖的領域打開缺口，并建立起屬于自己的護城河。在資本市場的助力下，這家真空領域的“國家隊”有望以更快的速度轉動技術與商業的飛輪，持續強化核心競爭力，在中國乃至全球的半導體產業地圖上，刻下更深的中國印記。