2026年春天，阿斯麥爾的高數(shù)值孔徑EUV設(shè)備已經(jīng)在英特爾和三星的產(chǎn)線上調(diào)試，瞄準(zhǔn)的是2納米以下制程。而上海微電子那臺(tái)28納米的DUV機(jī)器還在實(shí)驗(yàn)室里反復(fù)跑數(shù)據(jù)。兩者之間橫亙的不是一條技術(shù)鴻溝，而是一整個(gè)被自己親手掐斷的時(shí)代。

我想把視角拉遠(yuǎn)一點(diǎn)，不光盯著光刻機(jī)本身。八十年代＂造不如買＂這股風(fēng)，刮倒的不是一棵樹，是一片林子。運(yùn)10大飛機(jī)停了，結(jié)果四十年后C919才實(shí)現(xiàn)商飛，中間那幾十年我們給波音和空客送了多少錢？軍用領(lǐng)域更慘，遠(yuǎn)程轟炸機(jī)、武裝直升機(jī)、大型驅(qū)逐艦，一口氣砍掉90個(gè)國防科研項(xiàng)目。有些項(xiàng)目當(dāng)時(shí)已經(jīng)能看到樣機(jī)了，說停就停。每一個(gè)被砍掉的項(xiàng)目，背后都是成百上千人十幾年的心血?dú)w零。

但光刻機(jī)的損失比這些都深遠(yuǎn)，因?yàn)樗ǖ氖钦麄€(gè)信息產(chǎn)業(yè)的命門。它是信息時(shí)代的石油和鋼鐵加在一起。

有一個(gè)細(xì)節(jié)值得深挖：1985年我們做出了分步式光刻機(jī)，技術(shù)參數(shù)跟美國基本對(duì)齊，就晚了七年。同一年阿斯麥爾才剛從飛利浦的一間小廠房里獨(dú)立出來，賬上的錢連發(fā)三個(gè)月工資都?jí)騿堋５⑺果湢栕鰧?duì)了一件我們沒做的事——它從第一天起就在搭建供應(yīng)鏈生態(tài)。蔡司給它做鏡頭，后來Cymer給它做光源，再后來Trumpf接手了更先進(jìn)的EUV光源。整條鏈上每一個(gè)節(jié)點(diǎn)都在同步迭代，咬合得像瑞士鐘表。

這里必須說一個(gè)被很多人忽視的問題：光刻機(jī)的競爭，本質(zhì)上不是一臺(tái)機(jī)器的競爭，是一整套工業(yè)體系的競爭。一臺(tái)EUV光刻機(jī)里有超過十萬個(gè)零部件，涉及幾十個(gè)國家的上百家供應(yīng)商。蔡司打磨那面鏡子的精度，相當(dāng)于把一個(gè)足球場磨平到誤差不超過一根頭發(fā)絲的千分之一。這種東西，不是你撥筆經(jīng)費(fèi)、建個(gè)實(shí)驗(yàn)室就能追上的。它需要幾十年不間斷的工藝積累，需要一代人甚至兩代人把手藝傳下去。

那為什么韓國人能追上來？三星在半導(dǎo)體上砸錢，是從七十年代末就開始的。早期虧得一塌糊涂，內(nèi)部反對(duì)聲不斷。幾十年下來，硬是在存儲(chǔ)芯片和代工兩條線上都站住了腳。臺(tái)灣地區(qū)的臺(tái)積電更是一個(gè)經(jīng)典案例——張忠謀1987年創(chuàng)辦臺(tái)積電時(shí)已經(jīng)56歲，拿的是臺(tái)當(dāng)局的啟動(dòng)資金加上飛利浦的技術(shù)入股，起點(diǎn)并不高。但人家認(rèn)準(zhǔn)了＂純代工＂這條路，三十多年沒動(dòng)搖過。

反過來看我們，八十年代選擇了買，九十年代和兩千年代也沒真正回頭。中間有過幾次零星的努力，比如＂909工程＂上馬了華虹，但那更多是沖著量產(chǎn)芯片去的，光刻機(jī)這種最上游的設(shè)備始終沒被當(dāng)成戰(zhàn)略重心。等到2018年中興被美國一紙禁令打趴下，整個(gè)國家才像被扇了一巴掌似的驚醒過來。

這一巴掌扇得不輕。2019年華為被列入實(shí)體清單，臺(tái)積電被迫斷供。2020年開始美國逼著荷蘭限制阿斯麥爾向中國出口EUV設(shè)備。2023年管控升級(jí)到DUV，連成熟制程的設(shè)備都開始卡。2024年日本也被拉進(jìn)來，東京電子和尼康的出口許可收得越來越緊。到2025年底，針對(duì)人工智能芯片的新一輪禁令落地，連云端推理用的中端芯片都被劃進(jìn)了管控范圍。2026年初，又傳出美方正在研究對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備維保服務(wù)實(shí)施限制——這意思是，就算你以前買了機(jī)器，以后零件壞了可能都沒人給你修。

這一系列操作的邏輯鏈條非常清晰：不是要你慢一拍，是要你永遠(yuǎn)追不上來。它打擊的不只是某一款產(chǎn)品，而是你進(jìn)入先進(jìn)制程的全部可能性。

我有一個(gè)比較冷門但關(guān)鍵的觀察：光刻機(jī)的制裁之所以掐得這么準(zhǔn)，恰恰是因?yàn)檫@個(gè)領(lǐng)域的全球供應(yīng)鏈高度集中。EUV光刻機(jī)全球只有阿斯麥爾一家能造，極紫外光源主要靠Trumpf，高端光刻膠基本被日本的JSR和東京應(yīng)化壟斷。這不是什么自由市場自然形成的格局，背后有大量的政府補(bǔ)貼、聯(lián)合研發(fā)項(xiàng)目和專利交叉授權(quán)。美國能用一紙行政令卡住全球半導(dǎo)體設(shè)備的流向，根本原因就是這套體系的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)全在它和盟友手里。你造不如買，買到的東西永遠(yuǎn)帶著一根隱形的繩子。

所以我的看法跟一些樂觀派不太一樣，有人覺得現(xiàn)在錢砸夠了、政策到位了，十年內(nèi)一定能突破。我認(rèn)為EUV這件事，十年能不能拿出實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的原型機(jī)都是個(gè)問號(hào)。半導(dǎo)體物理定律不認(rèn)你的制度優(yōu)勢，也不認(rèn)你的市場規(guī)模。