《芯片戰(zhàn)爭:世界最關(guān)鍵技術(shù)的爭奪戰(zhàn)》是美國經(jīng)濟(jì)史學(xué)家克里斯·米勒撰寫、蔡樹軍翻譯的科技類著作。該書以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球分工為主線,追溯從冷戰(zhàn)至今的芯片技術(shù)發(fā)展歷程,闡釋芯片在現(xiàn)代軍事、經(jīng)濟(jì)和地緣政治中的戰(zhàn)略地位。全書涵蓋美國通過技術(shù)博弈確立主導(dǎo)地位、臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起、華為5G技術(shù)受限等案例,分析全球芯片短缺與供應(yīng)鏈危機(jī)背后的國家競爭。書中提及美國《芯片法案》補(bǔ)貼政策、EUV光刻機(jī)研發(fā)困境等議題,揭示大國在人工智能與軍事技術(shù)領(lǐng)域的核心博弈。
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“沒有B計(jì)劃”
2015年,嚴(yán)濤南被問到,如果阿斯麥正在開發(fā)的新的EUV光刻機(jī)不起作用,會發(fā)生什么。在過去的25年里,嚴(yán)濤南一直致力于光刻技術(shù)的前沿研究。1991年,嚴(yán)濤南剛從麻省理工學(xué)院畢業(yè)便被TI聘用,在那里維修GCA在破產(chǎn)前生產(chǎn)的最后一臺光刻機(jī)。20世紀(jì)90年代末,當(dāng)使用193納米波長光的深紫外(DUV)光刻機(jī)上線時(shí),嚴(yán)濤南加入了臺積電。近20年來,該行業(yè)一直依靠這些工具來制造越來越小的晶體管,使用一系列光學(xué)技巧,比如通過水或多層掩模的多次曝光,使193納米的光波能夠形成尺寸的一小部分,這些技巧讓摩爾定律得以延續(xù)。因?yàn)樾酒袠I(yè)在20世紀(jì)90年代末通過對3D FinFET的早期研究已將晶體管從180納米節(jié)點(diǎn)縮減。到2015年左右,這些研究成果已準(zhǔn)備好進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。
嚴(yán)濤南,《為大批量制造開發(fā)EUV光刻技術(shù)——個(gè)人旅程》(Developing EUV Lithography for High Volume Manufacturing—A Personal Journey),《IEEE技術(shù)簡報(bào)》(IEEE Technical Briefs)。
但是,只有這么多的光學(xué)技巧可以幫助193納米的光雕刻出更小的特征尺寸。每個(gè)新的解決方案都會增加時(shí)間和成本。到2015年左右,解決方案會有一些額外的改進(jìn),但摩爾定律需要更好的光刻機(jī)來雕刻更小的圖形。唯一的希望是,自20世紀(jì)90年代初以來一直在開發(fā)但被嚴(yán)重推遲的EUV光刻機(jī),最終能夠在商業(yè)規(guī)模上運(yùn)行。還能有什么選擇?嚴(yán)濤南知道“沒有B計(jì)劃”。
張忠謀在半導(dǎo)體行業(yè)對EUV光刻機(jī)下的賭注比其他任何人都大。臺積電的光刻團(tuán)隊(duì)在EUV光刻機(jī)是否適合大規(guī)模生產(chǎn)的問題上存在分歧,但負(fù)責(zé)臺積電研發(fā)的蔣尚義堅(jiān)信,EUV光刻機(jī)是唯一的前進(jìn)之路。說話溫和的蔣尚義,因一流的制造技術(shù)而廣受贊譽(yù)。蔣尚義出生于中國重慶,和張忠謀一樣,他的家人在第二次世界大戰(zhàn)期間逃離了日占區(qū)。蔣尚義在中國臺灣長大,后來在斯坦福大學(xué)學(xué)習(xí)電氣工程,并在得克薩斯州的TI和硅谷的惠普工作。1997年,當(dāng)臺積電突然發(fā)出工作邀請和巨額簽約獎金時(shí),蔣尚義回到了臺灣,幫助臺積電發(fā)展。2006年,蔣尚義試圖在加利福尼亞州退休,但當(dāng)臺積電在2009年遇到40納米制造困境時(shí),沮喪的張忠謀邀請蔣尚義回到臺灣,吃了一頓牛肉湯面,要求他再次負(fù)責(zé)研發(fā)。
采訪蔣尚義,2021年。
王麗莎,《臺積電史丹威任職中芯國際》(TSMC Stalwart Takes SMIC Role),《臺北時(shí)報(bào)》,2016年12月22日。吉米·熊,《蔣尚義:集結(jié)軍隊(duì)》(Shang-yi Chiang: Rallying the Troops),《天下雜志》,2007年12月5日。采訪蔣尚義和嚴(yán)濤南,2021年。
曾在得克薩斯州、加利福尼亞州和中國臺灣工作過的蔣尚義,總是被推動臺積電的雄心壯志和職業(yè)道德震撼。這一雄心壯志源于張忠謀對世界一流技術(shù)的愿景,張忠謀愿意花巨資將臺積電的研發(fā)團(tuán)隊(duì)從1997年的120人擴(kuò)大到2013年的7000人。這種渴望滲透到了整個(gè)公司。蔣尚義解釋道:“在臺灣,人們非常努力地工作。”由于制造工具占先進(jìn)制造廠的大部分成本,所以保持設(shè)備運(yùn)行對盈利至關(guān)重要。蔣尚義說,在美國,如果凌晨1點(diǎn)有什么東西壞了,那么工程師會在第二天早上修好。但是在臺積電,他們會在凌晨2點(diǎn)前解決問題。蔣尚義解釋道:“他們不會抱怨,他們的家人也不會抱怨。”隨著蔣尚義重新掌管研發(fā),臺積電向EUV光刻邁進(jìn)。蔣尚義很容易找到通宵工作的員工。他要求在12號工廠(臺積電最大的工廠之一)里安裝三臺用于測試的EUV光刻機(jī)。在臺積電與阿斯麥的合作中,蔣尚義不遺余力地測試和改進(jìn)EUV光刻機(jī)。
蒂莫西·P.摩根(Timothy P. Morgan),《AMD的格芯收購對手特許半導(dǎo)體》(AMD's GlobalFoundries Consumes Chartered Semi Rival),Register,2010年1月14日。采訪IBM前高管,2021年。采訪兩位半導(dǎo)體高管,2021年。
與臺積電、三星和英特爾一樣,格芯在開發(fā)自己的7納米節(jié)點(diǎn)時(shí),也在考慮采用EUV光刻機(jī)。從創(chuàng)立之初,格芯就知道,要想發(fā)展壯大,就需要成長。格芯繼承了AMD的晶圓廠,但該廠比其競爭對手小得多。為了增長,格芯于2010年收購了新加坡的芯片制造廠特許半導(dǎo)體。幾年后,也就是2014年,格芯收購了IBM的微電子業(yè)務(wù),并承諾為這個(gè)“藍(lán)色巨人”(Big Blue)生產(chǎn)芯片,IBM此前出于AMD相同的原因決定成為無晶圓廠公司。IBM的高管們分享過一個(gè)計(jì)算生態(tài)系統(tǒng)的形象:一個(gè)上下顛倒的金字塔,底部是半導(dǎo)體,所有其他計(jì)算都依賴于它。但是,盡管IBM在半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的發(fā)展中發(fā)揮了根本性的作用,但其領(lǐng)導(dǎo)人認(rèn)為,制造芯片在經(jīng)濟(jì)上毫無意義。面對決定投資數(shù)百億美元建造新的先進(jìn)晶圓廠,或者用數(shù)十億美元投資高利潤軟件,IBM選擇了后者,將芯片部門出售給格芯。
《蘋果在2015年推動了臺積電的整個(gè)代工銷售增長》(Apple Drove Entire Foundry Sales Increase at TSMC in 2015),IC Insights,2016年4月26日。《三星、臺積電在可用晶圓制造能力方面保持領(lǐng)先地位》(Samsung, TSMC Remain Tops in Available Wafer Fab Capacity),IC Insights,2016年1月6日。該數(shù)字計(jì)算出每月等效于200毫米的晶圓數(shù)。當(dāng)時(shí),該行業(yè)的前沿正在轉(zhuǎn)向300毫米晶圓,每個(gè)晶圓可以容納大約兩倍的芯片。因此,以300毫米晶圓為基礎(chǔ)的每月晶圓數(shù)要少一些。
到2015年,由于這些收購,格芯成為當(dāng)時(shí)美國最大的芯片制造廠,也是世界上最大的芯片制造工廠之一,但與臺積電相比,格芯仍然是一家小公司。當(dāng)時(shí),格芯與中國臺灣的聯(lián)華電子在競爭全球第二大芯片制造廠的地位,兩家公司都各擁有大約10%的市場份額。但是,臺積電占據(jù)了全球芯片制造市場50%以上的份額。2015年,三星僅占芯片制造市場的5%,但如果將其自主設(shè)計(jì)的芯片(例如存儲芯片和智能手機(jī)處理器芯片)的大量生產(chǎn)包括在內(nèi),那么三星生產(chǎn)的晶圓比任何公司都多。按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),臺積電的晶圓產(chǎn)能為180萬片,三星的晶圓產(chǎn)能為250萬片,而格芯的晶圓產(chǎn)能只有70萬片。
彼得·布賴特(Peter Bright),《AMD完成從芯片制造業(yè)的退出》(AMD Completes Exit from Chip Manufacturing Biz),《連線》,2012年3月5日。
臺積電、英特爾和三星肯定會采用EUV光刻機(jī),盡管這些公司對何時(shí)以及如何采用EUV光刻機(jī)有不同的策略。格芯則沒有那么自信,它在28納米工藝上遇到了困難。為了減少延遲的風(fēng)險(xiǎn),格芯決定從三星獲得14納米工藝的許可,而不是自行開發(fā)。這一決定顯示格芯對自己的研發(fā)工作缺乏信心。
采訪三名格芯前高管,其中一人關(guān)注EUV光刻機(jī),2021年。關(guān)于研發(fā)支出,請參見格芯的IPO(首次公開募股)招股說明書,美國證券交易委員會(Security and Exchange Commission),2021年10月4日,第81頁。另請參見馬克·吉爾伯特(Mark Gilbert),《第四季度就業(yè)保持強(qiáng)勁前景,以準(zhǔn)備2019年第一季度》(Q4 Hiring Remains Strong Outlook for Q1 2019),SemiWiki,2018年11月4日。
到2018年,格芯已經(jīng)購買了幾臺EUV光刻機(jī),并將其安裝在最先進(jìn)的8號工廠里。后來,格芯的高管命令公司停止這項(xiàng)工作。“EUV計(jì)劃”被取消,格芯放棄了生產(chǎn)新的尖端節(jié)點(diǎn)芯片。格芯不會追求基于EUV光刻的7納米工藝,該工藝已經(jīng)花費(fèi)了15億美元的開發(fā)成本,還需要相當(dāng)數(shù)量的額外支出才能上線。臺積電、英特爾和三星的財(cái)務(wù)狀況都很好,足以進(jìn)行冒險(xiǎn),這些公司希望EUV光刻機(jī)能發(fā)揮作用。格芯認(rèn)定自己是一家中型芯片制造廠,永遠(yuǎn)無法使7納米工藝在財(cái)務(wù)上可行。格芯宣布停止生產(chǎn)更小的晶體管,將研發(fā)支出削減三分之一,并在幾年虧損后迅速實(shí)現(xiàn)了盈利。除了世界上最大的芯片制造商外,制造尖端處理器對每個(gè)人來說都太昂貴了,即便是擁有格芯的波斯灣王室成員的財(cái)力也不夠雄厚。能夠制造前沿邏輯芯片的公司數(shù)量從四家下降到三家。
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