工業氣體（電子特氣）行業現狀，電子特氣領域A股重點公司梳理！

01工業氣體/電子特氣現狀

電子特種氣體在集成電路制造材料成本構成中位居No.2，僅次于硅片，約占晶圓制造成本的13% 。從國際市場規模來看，2017-2024年復合增長率約為6.1% 。國內同期年復合增長率達到14.4%，明顯高于全球增速。集成電路用電子特氣受益于國內晶圓廠持續擴產，市場規模持續維持高速增長。

我國電子特氣下游應用主要集中在集成電路（占比約42%）、顯示面板（占比約37%）、光伏（占比約13%）三大領域。國內電子特氣國產化率已從10年前的不足10%提升至2025年的約25%，在部分品種上已實現突破。國內主要生產企業包括中船特氣、華特氣體、南大光電、昊華科技等。

2026年以來，氦氣價格大幅上漲、日本供應中斷、鎢出口管制等因素影響，工業氣體板塊表現活躍，比較典型的事件是中東局勢和中國加強對鎢出口管控，推高六氟化鎢價格，加速國產替代。

電子特氣行業的技術門檻極高，主要體現在以下方面：

純度要求極致嚴苛：先進芯片制造工藝要求特氣純度達到6N（99.9999%）至9N（99.9999999%）級別，即便是ppb（十億分之一）級別的微量雜質，也可能直接損壞價值數千萬美元的晶圓產線。

核心技術環節復雜：電子特氣生產涉及合成、純化、分析檢測、充裝等多項工藝技術。分離純化技術方面，精餾、吸附、升華凝華等，是產品實現高端應用的核心前提。分析檢測能力能力方面，痕量雜質分析檢測技術是質量保障的核心手段，ppb級檢測設備和能力仍依賴進口。充裝技術方面，鋼瓶內壁納米級鈍化處理、超凈閥門密封等技術存在短板，可能導致二次污染。

品種覆蓋難度大：集成電路、顯示面板、光伏等行業所用電子特氣數量超過100種，國內企業整體起步較晚，在產品種類、工藝水平、綜合服務能力方面與國際巨頭存在差距。

02綜合龍頭與設備王者

1. 杭氧股份 （002430）：中國空分設備與工業氣體絕對龍頭，國內唯一具備“工程成套、設備制造、氣體運營”全產業鏈能力的企業。拳頭產品為大型/特大型空分設備（單套制氧能力達11萬Nm3/h）、管道氣、電子特氣（如高純液氧）。

國內空分設備市占率約43.2%（第一），特大空分設備市占率高達60%；國內工業氣體運營市占率約6%（內資第一）。具有設備自制優勢，空分設備占現場制氣成本的50.8%，自制設備使其成本顯著低于外購設備的氣體商。同時深度布局氫能、核聚變低溫系統，代表中國深冷技術最高水平。神華寧煤10萬等級空分設備的成功運行，打破了外資在特大型設備上的壟斷，是“大國重器”的代表。

2. 中船特氣 （688146）：中國電子特氣產能規模第一的央企巨頭，全球含氟特氣領導者。拳頭產品為三氟化氮（NF?，產能18500噸/年，全球第一）、六氟化鎢（WF?，產能2000噸/年，全球第一）、三氟甲磺酸系列（全球第一）。

國內電子特氣市場份額第一，全球第九；集成電路領域收入占比超61%。憑借全球最大的單體產能，擁有極強定價權。背靠中船集團，產品質量穩定性極強，已進入臺積電、中芯國際等頭部供應鏈。光刻氣通過ASML子公司Cymer認證，進入ASML設備零部件供應鏈；雙三氟甲磺酰亞胺鋰切入固態電池電解質材料領域。

3. 南大光電 （300346）：前驅體材料（MO源）國家隊，ArF光刻膠國產化唯一實現者，電子特氣重要玩家。拳頭產品為MO源（市占率全球領先）、高純磷烷/砷烷（LED/IC領域核心特氣）、ArF光刻膠。

MO源全球龍頭之一；特氣業務在LED領域占據主導，正快速切入IC領域；光刻膠實現從0到1突破。橫跨特氣與光刻膠兩大高壁壘材料，擁有極高的毛利率（40.85%），凈利率接近20%，是盈利能力最強的電子材料企業之一。不僅賣氣體，更賣“添加劑”和“光刻膠”，客戶粘性極強，技術護城河極深。

03電子特氣專精特新與進口替代先鋒

4. 華特氣體 （688268）：國產特種氣體進口替代先鋒，品種最豐富的民營氣體公司之一。拳頭產品為光刻氣（通過ASML認證）、高純四氟化碳、高純氨、高純二氧化碳等約240余種產品。

國內唯一通過荷蘭ASML和日本GigaPhoton認證的光刻氣供應商，客戶覆蓋臺積電、中芯國際、長江存儲等主流晶圓廠。品種多、迭代快，能夠提供“一站式”服務。在解決“卡脖子”氣體方面嗅覺敏銳，常常先于競爭對手實現國產替代。品系齊全，抗風險能力強。

5. 昊華科技 （600378）：含氟特氣國家隊，全球六氟丁二烯龍頭。拳頭產品為六氟丁二烯（產能1200噸/年，全球第一）、三氟化氮（5000噸/年，全國前三）、聚四氟乙烯等。

不僅是電子特氣供應商，更是中國化工新材料領域的巨無霸。依托中國中化集團，資源整合能力強。從螢石礦到高純特氣，成本控制能力極強。六氟丁二烯作為新一代蝕刻氣體（可用于3nm制程），壁壘極高。具有軍工背景，產品質量可靠，是半導體先進制程關鍵材料的核心供應商。

6. 金宏氣體 （688106）：綜合型氣體服務商，華東地區的民營氣體龍頭。拳頭產品為超純氨（國內市占率超50%）、高純氧化亞氮、高純氫、電子大宗載氣。在超純氨等細分領域具有壟斷地位，正在從特氣向電子大宗氣體（如氮氣、氧氣現場制氣）全面進攻。

強大的并購整合與客戶服務能力。不僅賣氣，還提供氣體運維服務。近年來通過收購整合，成功進入北方集成電路、芯粵能等大客戶的大宗氣供應體系。打通了特氣和大宗氣的界限，具備與外資巨頭全面競爭的綜合服務能力。

04電子大宗氣體破局者與區域霸主

7. 廣鋼氣體 （688548）：國內電子大宗氣體（電子級氮氣、氧氣等）的破局者，打破林德、法液空、空氣化工“三巨頭”壟斷。主要產品為高純氮氣（ppb級）、氦氣。

中國集成電路新建現場制氣項目中，廣鋼中標產能占比從25%上升至41%，而三大外資合計從68%降至31%。擁有長達20年的氦氣全球采購協議（氦氣是戰略稀缺資源），保障了氣源安全。自研的“Super-N”制氮技術已達國際水平。是典型的“基礎設施”型公司，現金流極其穩定，是晶圓廠的“生命線”工程。

8. 僑源股份 （301286）：西南地區（川渝）工業氣體龍頭，液態氣體產能位居西部第一。主要產品為高純液氧、高純液氮、高純液氬。川渝地區零售市場絕對龍頭，覆蓋寧德時代、通威股份等新能源巨頭。

區位優勢與低成本電力。利用四川豐富的水電資源，空分能耗極低，成本優勢顯著。正在從基礎大宗向電子級、醫用級特種氣升級。在西南新能源產業鏈中擁有極高的市占率，客戶粘性極高，是區域壟斷的典型代表。

9. 和遠氣體 （002971）：華中地區工業氣體龍頭，正在向電子特氣與硅基材料轉型。拳頭產品為工業氨、氫氣、電子級硅烷（在建/規劃中）。湖北地區最大的民用及工業氣體供應商，液化氣市場占有率第一。

與傳統的氟碳類特氣不同，和遠重點布局硅烷、氯化氫等電子級化學品，切入光伏和半導體外延工藝。依托原有的危化品物流和分銷網絡，轉型特氣具有渠道優勢。

10. 凱美特氣 （002549）：尾氣回收再利用的環保+特氣模式，食品級二氧化碳龍頭。拳頭產品為食品級二氧化碳（可口可樂、百事可樂供應商）、氪氣、氙氣、氖氣（稀有氣體）。國內食品級二氧化碳龍頭，電子級稀有氣體已進入國內頭部芯片廠商供應鏈。

核心優勢在于其低成本氣源+稀有氣體提純技術。利用石化、煤化工尾氣提純，成本極低；同時是氖、氪、氙等戰略稀有氣體的重要供應商，受益于半導體激光和存儲芯片擴產。環保屬性賦予其獨特的成本護城河。

05氟化工延伸與化學平臺型

11. 雅克科技 （002409）：前驅體與電子特氣雙輪驅動，通過并購轉型為半導體材料平臺。拳頭產品為六氟化鎢、硅前驅體、光刻膠配套試劑。是全球領先的前驅體供應商，特氣業務（科美特）是國內六氟化鎢主要供應商之一。前驅體和特氣都賣給同一個晶圓廠，打包銷售能力強，技術壁壘高。

12. 三孚股份 （603938）：硅基材料+氯硅烷特氣。拳頭產品為電子級二氯二氫硅（DCS）、電子級三氯氫硅（TCS）、電子級四氯化硅。是國內硅基電子特氣的重要新進入者，主要應用于半導體外延和沉積工藝。核心優勢在于其原材料一體化。擁有氫氰酸、氯堿等基礎化工配套，成本控制能力強。

13. 巨化股份 （600160）：中國氟化工龍頭，電子特氣（尤其是蝕刻氣體）的潛在巨無霸。拳頭產品為三氟化氮、六氟化鎢（通過下屬子公司浙江博瑞電子生產）。雖然主營制冷劑，但其電子特氣板塊實力不容小覷，是國內少數能大規模生產高純含氟特氣的企業。

14. 多氟多 （002407）：六氟磷酸鋰+電子特氣。拳頭產品為電子級氫氟酸（用于晶圓清洗）、高純氟氣。市場地位：電子級氫氟酸已進入德州儀器、臺積電、三星等高端客戶，是國內該領域的絕對龍頭之一。核心優勢在于其氟化工技術同源，將新能源電池材料的高純度技術移植于半導體材料。

15. 正帆科技 （688596）：電子工藝系統（廠務+設備）+電子材料。拳頭產品為高純氣體輸送系統、電子特氣（自產自用）。服務于半導體、光伏行業的廠務系統，同時向下游客戶銷售自產的電子特氣（如磷烷）。核心優勢在于其系統+材料的模式。通過高純介質輸送系統鎖定客戶，再通過CAPEX（設備）撬動OPEX（氣體耗材）。

06總結

目前，我國氦氣對外依存度長期超過95%，主要進口來源為卡塔爾、美國等。氦氣是天然氣液化過程中的伴生副產品，無法通過人工合成方式生產。高端金屬材料受制于人，在6N以上的鎢、鉬、釕、鉭等核心高純金屬材料供應方面，仍受制于日美等企業，高端技術與裝備受出口管制。

2026年3月卡塔爾LNG設施遭襲，導致氦氣供應可能面臨3-5年的長期剛性缺口、2026年1月中國加強對日鎢出口管制后，日本全球占比近30%的六氟化鎢產能面臨原料斷供風險。同時，國際巨頭封鎖，在專利、標準、工藝對我國電子特氣發展展開三重圍堵，以林德、液化空氣、空氣化工、大陽日酸為代表的四大國際巨頭最為典型。

在此背景下，國產替代進程加速。2026年1月中國對日出口管制及反傾銷調查，使海外供應鏈斷供風險成為下游廠商必須對沖的核心變量，同時本土供應商驗證進度有望加快，國產化率預計將持續提升，國內企業已從"0到1"的技術突破，進入"1到N"的大規模替代和全鏈條追趕階段。

國家發改委、科技部、工信部、財政部等部門相繼出臺一系列產業支持政策，國資委也將電子特氣列為關鍵性電子材料重點扶持。國內氣體企業紛紛加大研發投入，不斷突破技術難關，逐步實現電子特氣產品的國產替代。