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超快激光:封裝材料革命的“手術刀”

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AI芯片越做越大,封裝材料和加工設備正在一起被推到臺前。

6月8日,華泰證券機械設備團隊楊云逍等在研報中寫道:“AI算力芯片需求快速增長與原有封裝材料供給緊缺,正加速推動先進封裝材料轉向玻璃、陶瓷、M8/M9級PCB等新材料。”

這句話關鍵在后半段:玻璃、陶瓷、M8/M9 級 PCB 都不好加工。傳統機械鉆孔容易崩邊、裂紋;濕法刻蝕效率和形貌控制有限;普通激光又容易帶來熱損傷。超快激光的價值,就落在這里。

“傳統機械鉆孔、濕法刻蝕及普通激光加工效果不佳,而超快激光憑借冷加工特性成為精密加工的解決方案。”

該機構的測算框架把玻璃中介層、玻璃載板、M9 材料、光模塊類載板都納入潛在應用,給出的遠期市場空間超過千億元。但這個空間不是線性兌現,取決于 CoPoS、CoWoP、玻璃基板、M9 PCB 等路線能否進入量產節奏。

AI芯片越大,封裝材料越先碰到瓶頸

先進封裝的壓力,先來自芯片本身。

英偉達產品迭代中,封裝內芯片數量和HBM配置持續上升。數據顯示,GP100為4顆HBM、16GB容量、集成芯片數5顆;GB100已到8顆HBM、192GB容量、集成芯片數10顆。

芯片變大,封裝面積變大,散熱、翹曲、信號傳輸都會變難。

現有主流CoWoS路線分為S、R、L三類。CoWoS-S性能最優但成本最高,封裝尺寸上限大約為2700平方毫米;CoWoS-R成本較低,但大尺寸封裝翹曲問題難控制;CoWoS-L在成本和性能間折中,但尺寸上限、散熱能力和可靠性仍有限。

下一步路線主要看CoPoS和CoWoP。

CoPoS是“化圓為方”。它把封裝載體從圓形晶圓切到方形面板,以提高面積利用率,并以玻璃替代硅或有機中介層。

CoWoP則更直接:省去ABF載板,把硅中介層直接綁定到PCB上。這樣能縮短互連路徑,但對PCB提出更高要求,包括更小線寬線距、無空隙填孔、低熱膨脹材料等。

據TrendForce、中視新聞網,臺積電規劃在嘉義廠區落地CoPoS量產產線,試產線于2026年2月啟動設備交付;6月4日臺積電股東常會,董事長暨總裁魏哲家提及,目前已建成CoPoS與玻璃載板試產線,預估2至3年進入較大規模量產階段。據IT之家,英偉達目標在Rubin Ultra上實現CoWoP量產。


材料緊缺也在推著行業往前走。

用于CoWoS的高性能ABF載板,核心材料包括ABF膜和T-Glass特種低介電玻璃布。T-Glass“幾乎由日本日東紡供貨,目前產能已完全滿載”。

同時,英偉達下一代Rubin高端GPU需要高階ABF載板配套封裝,并進行超前備貨,這進一步放大供應緊張。

這就是玻璃基材料被重新推到前臺的原因之一。


玻璃、陶瓷、M9不是同一層材料,不是簡單互相替代

市場容易把玻璃、陶瓷、M9材料放在一起比較。但它們并不完全在同一層競爭。

華泰證券寫得很直接:“玻璃基主要用于先進封裝的中介層與載板領域,與PCB應用中的陶瓷材料/M9等材料并不沖突。”

傳統CoWoS結構自上而下是芯片、中介層、載板、PCB層。玻璃主要用于中介層和載板。陶瓷基與M9材料更多用于PCB相關材料或高功率散熱場景。

玻璃的優勢在于尺寸穩定、表面平整、高頻損耗低,并且可以做TGV玻璃通孔。數據顯示,玻璃介電系數為3.5至10,CTE為2.7至12.4ppm可調,表面平整度可做到小于4nm。

PCB的升級方向是M8、M9,甚至M10。

數字越大,代表信號傳輸損耗越低、速度越快、穩定性越高。M8/M9級PCB的核心,是更低介電常數Dk、更低介電損耗Df,以及高模量低膨脹玻纖體系和超低輪廓銅箔。

M9的難點在于材料更硬。它引入石英布Q-glass作為增強材料。高純石英玻纖莫氏硬度超過7,高于傳統E-glass玻纖的5至6級。

陶瓷則主打散熱和熱膨脹匹配。

數據顯示,ABF材料導熱系數為0.8至1.2W/mK,而陶瓷基板導熱系數可達200W/mK。氮化鋁導熱系數為170至230W/mK,氮化硅為60至90W/mK,燒結碳化硅約100至250W/mK。

這解釋了為什么三類材料可能同時被關注:玻璃解決中介層和載板,M8/M9解決高速互連,陶瓷解決高功耗散熱。


為什么是“手術刀”:超快激光把熱損傷壓到最低

超快激光的重點,不是“功率更大”,而是“時間更短”。

華泰證券定義為:“超快激光通常指脈沖持續時間在皮秒(10?12s)至飛秒(10?15s)量級的激光”。

在這么短的時間里,能量來得快、走得也快。材料還沒來得及把熱擴散出去,去除已經完成。這種機制被稱為“冷燒蝕”。

這和傳統長脈沖激光不同。

傳統激光更像“燒掉”材料。熱影響區大,容易帶來崩邊、微裂紋、熔融、碳化。

超快激光更像“剝離”材料。它通過多光子吸收等非線性效應,直接作用在材料表面電子層面,降低熱擴散。

報告對此的表述是:“超快激光并非對傳統激光的簡單參數升級,而是加工機理的根本變革”。

在實際加工中,這種差異對應到三個結果:熱影響區更小,孔壁錐度可調,加工形狀更靈活。

分析師提到,激光鉆孔可以加工任意形狀微孔,這一點是機械鉆孔難以做到的。


三道工序最能體現需求:TGV、M9微孔、陶瓷刻蝕

第一道是玻璃載板TGV。

玻璃載板關鍵制程包括六步:TGV激光改質、通孔蝕刻、AOI光學檢測、種子層鍍膜、電鍍填孔、研磨。

其中,“TGV激光改質是第一道、也是最關鍵工序”。

原因很簡單:玻璃缺乏塑性變形能力。能量過高或不均勻,就容易產生微裂痕、熱應力集中或內部缺陷。孔徑到30微米以下時,對熱影響區的控制更加嚴格。

超短脈沖超快激光可以在玻璃內部實現非熱改性,降低熱應力裂紋和崩邊問題。


第二道是M9級PCB微孔加工

M9面向1.6Tbps以上超高速傳輸環境。它為了降低信號損耗,引入高純石英玻纖,但這也讓加工難度上升。

數據顯示,傳統機械鉆針壽命會驟降至傳統材料的1/5,孔徑精度和位置度也會惡化。

CO?激光的問題是熱影響區過大,可能導致樹脂碳化、玻纖撕裂。納秒UV激光對高硬石英玻纖蝕除效率低,孔壁質量也不理想。

超快激光的價值在于:可以精準去除高硬度玻纖,同時不碳化樹脂、不短路銅層。

第三道是陶瓷基板精細加工。

氮化鋁、氮化硅、碳化硅等陶瓷材料硬度高、導熱強。數據顯示,這類材料莫氏硬度可達7至9,導熱系數可達200W/mK以上。

機械鉆孔會帶來鉆針快速磨損、孔壁粗糙、崩邊嚴重。普通激光的能量會被快速擴散,反而形成熱影響區和微裂紋。

超快激光可以改善這一問題,但也不是沒有邊界。

分析師也提醒,高通量加工中,高頻脈沖的熱積累效應仍可能誘發微裂紋,需要合理控制重復頻率與能量密度。行業還在探索高能量超快激光、機械預鉆孔加超快激光修整、磁場輔助激光、低溫輔助激光等復合方案。


千億空間來自哪些假設?

超快激光設備的市場空間,主要來自四類潛在應用:CoPoS 玻璃中介層、ABF 玻璃載板、M9 材料、光模塊類載板。

測算中,設備單價按 600 萬元計。不同滲透率下,對應存量市場空間分別為:

  • 10% 滲透率:約 103 億元;

  • 30% 滲透率:約 310 億元;

  • 50% 滲透率:約 516 億元;

  • 80% 滲透率:約 826 億元;

  • 100% 滲透率:約 1033 億元。

這里面,M9 材料貢獻最大。在 100% 滲透率假設下,M9 材料對應設備需求 11574 臺;ABF 玻璃載板對應 3704 臺;CoPoS 玻璃中介層對應 1757 臺;光模塊類載板對應 174 臺。

這組測算有兩個隱含前提。

第一,先進封裝確實從 CoWoS 向 CoPoS、CoWoP 擴展。臺積電已規劃 CoPoS 量產產線,并已建成 CoPoS 與玻璃載板試產線,預估 2-3 年進入較大規模量產階段。

第二,玻璃基、M9 PCB、陶瓷等材料不是實驗室路線,而是能進入規模制造。設備訂單最終來自量產線,不來自技術敘事。


LPKF 守高端,國產廠商追的是整套解決方案

全球超快激光設備格局,目前是海外龍頭在高端市場占據先發位置,國內廠商加速追趕。

德國 LPKF 的優勢在 LIDE 激光誘導深度蝕刻工藝。該工藝用于玻璃基板加工,可實現無裂紋、高深寬比、低熱損傷加工。其 Vitrion S 5000 面向薄玻璃微加工和 TGV 通孔,最高寬高比可到 1:50。

國內廠商的路徑更分散,也更貼近下游工藝驗證。

大族數控面向 PCB 專用設備,已推出超快激光鉆孔設備。其玻璃激光鉆孔機通孔直徑最小 10μm,主流材料深徑比可達 50:1。

大族激光具備皮秒紫外、皮秒紅外等光源技術,產品覆蓋玻璃、藍寶石、陶瓷等脆性材料微加工,也適配 mSAP、TGV 等高端工藝。

帝爾激光聚焦玻璃 TGV。其晶圓級 TGV 激光微孔設備可支持不同玻璃材質,最小孔徑≤5μm,徑深比高達 1:100。

英諾激光具備從納秒到飛秒、從紅外到深紫外的產品布局,激光器銷量突破 2.2 萬臺,PCB 超快鉆孔設備已實現首臺訂單。

聯贏激光的玻璃激光打孔機重復定位精度±1μm,可加工 20mm 厚玻璃,玻璃 TGV 打孔設備處于客戶驗證階段。

德龍激光主營精密激光微加工設備和核心激光器,自研皮秒、飛秒固體激光器,覆蓋 TGV、晶圓切割、陶瓷和玻璃加工等場景。

海目星以“激光+自動化”為核心,布局激光刻蝕、激光誘導等工藝,業務覆蓋鋰電、光伏、消費電子、半導體等領域。

競爭的重點,已經不只是單臺設備參數。先進封裝材料復雜,制程窗口窄,下游更需要光源、運動控制、工藝參數、檢測和自動化的整套方案。國內廠商的機會,也來自本地化交付和工程響應能力。



風險在量產節奏,不在概念本身

超快激光的邏輯很清楚:材料越硬、孔越小、熱損傷越不能接受,超快激光越有價值。

但設備放量仍有三類風險。

第一,先進封裝技術發展不及預期。若 CoPoS、CoWoP、玻璃基板等路線推進慢于預期,相關設備需求也會后移。

第二,AI 算力投資不及預期。封裝材料升級的根本驅動來自高端 AI 芯片需求,若下游資本開支放緩,設備訂單會受影響。

第三,國際貿易摩擦風險。先進封裝材料和設備依賴全球供應鏈,貿易限制可能影響驗證、交付和客戶擴產節奏。

對市場來說,超快激光不是單純的“激光設備”故事,而是先進封裝材料切換后,制造環節必須補上的一把精密刀。

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