河北
電子工業潔凈廠房的微振控制，是保障電子產品生產精度、維護作業人員安全與舒適度的關鍵環節。需整合廠房設計、設備選型、施工投產全流程，建立科學的控制標準與落地措施，確保各項振動指標滿足生產及安全管控要求。
一、微振控制設計要求
潔凈廠房微振控制設施的設計，需貫穿設計、施工、投產全過程，重點覆蓋振動測試、建筑結構控振、動力設備隔振及精密儀器隔振等核心內容，保障微振控制效果達標。
具備微振控制需求的潔凈廠房，需嚴格執行以下要求：總平面規劃時，需排查相鄰廠房及建筑物對精密設備、儀器的振動干擾，規避外部振動影響；放置精密設備的潔凈廠房，其建筑基礎、結構選型、隔振縫設置及室內裝修，均需契合微振控制標準；對精密設備存在振動影響的動力設備及管道，需落實主動隔振措施；若精密設備經測試確認受周邊振動干擾，需及時采取被動隔振處理。
二、容許振動值與微振控制實施細節
微振控制設計需結合精密儀器、設備的自身特性，采用綜合隔振手段，確保振動值符合容許標準。精密設備及儀器的容許振動值，可通過時間域或頻率域的振動加速度、速度、位移等物理參數進行界定。
微振控制設計需分四個階段開展振動測試分析：場地環境振動測試與分析、廠房建筑結構振動特性測試與分析、精密設備安裝點位環境振動測試與分析、微振控制最終效果測試與分析。
對振動強烈的設備及管道，優先采用主動隔振措施，選用適配的隔振臺（座）及剛度合理的隔振器，通往潔凈室（區）的管道需設置隔振支（吊）架及柔性連接件；潔凈室內精密設備的被動隔振設計，需保證隔振臺（座）剛度達標，采用低剛度隔振設施，確保隔振系統各向阻尼比不低于0.15，同時做好傾斜校正，避免隔振設施影響氣流流型；若采用空氣彈簧隔振器，其供氣系統需進行凈化處理，確保符合對應潔凈室空氣潔凈度等級。
特別聲明：以上內容(如有圖片或視頻亦包括在內)為自媒體平臺“網易號”用戶上傳并發布，本平臺僅提供信息存儲服務。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
