人民財(cái)訊5月12日電，半導(dǎo)體材料細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新技術(shù)突破。

光刻膠作為芯片制造的核心材料之一，其質(zhì)量直接影響芯片的性能和成品率。然而，當(dāng)前全球高端氟化氪（KrF）光刻膠樹脂相關(guān)技術(shù)與市場長期集中在少數(shù)國外企業(yè)手中，導(dǎo)致供應(yīng)鏈高度依賴進(jìn)口、材料成本居高不下、難以滿足定制化和快速響應(yīng)需求等局面。

近日，依托2030新一代人工智能國家科技重大專項(xiàng)總體部署，上海人工智能實(shí)驗(yàn)室（上海AI實(shí)驗(yàn)室）聯(lián)合廈門大學(xué)、蘇州國家實(shí)驗(yàn)室等合作單位基于“書生”科學(xué)大模型與“書生”科學(xué)發(fā)現(xiàn)平臺，構(gòu)建了“AI決策+自動化合成”的閉環(huán)研發(fā)體系，實(shí)現(xiàn)了高純度、高一致性、高效率的KrF光刻膠樹脂創(chuàng)制。這一突破使高端光刻膠樹脂的穩(wěn)定制備不再依賴于極少數(shù)國外供應(yīng)商的“黑箱能力”，為全球芯片材料領(lǐng)域探索出一條可標(biāo)準(zhǔn)化、快速迭代的新路徑。

光刻膠是芯片制造的核心關(guān)鍵材料，其性能直接關(guān)系芯片制程精度與產(chǎn)品良率。值得注意的是，KrF光刻膠樹脂是決定光刻膠整體性能的核心基礎(chǔ)材料。

財(cái)通證券研報(bào)指出，光刻膠是半導(dǎo)體材料“皇冠上的明珠”，高端市場日美長期壟斷。當(dāng)前，國產(chǎn)高端光刻膠的國產(chǎn)化落地正迎來關(guān)鍵窗口期，國內(nèi)多家公司正處于開發(fā)和驗(yàn)證階段。關(guān)注已具備高端集成電路光刻膠量產(chǎn)交付能力的平臺化企業(yè)。

東方證券認(rèn)為，光刻膠是半導(dǎo)體材料中高壁壘環(huán)節(jié)，導(dǎo)入晶圓廠的驗(yàn)證周期較長。當(dāng)前，國內(nèi)光刻膠已經(jīng)開啟加速導(dǎo)入進(jìn)程，自主可控較為急迫。