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研發難度超預期!為何我國傾盡資源,也要啃下EUV光刻硬骨頭?

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極紫外EUV光刻研發集成了光學、精密機械、材料科學等多領域尖端技術,放眼全球,現階段僅有荷蘭阿斯麥掌握全套量產工藝。

拿下它的緊迫性毋庸置疑。海關總署統計顯示,2025年我國集成電路進口總額高達4243.3億美元,同比增長10.1%,創下近四年來的峰值。

從應用層面來看,從智能手機到電動汽車、從人工智能大模型到軍事裝備,幾乎每一個現代科技產業都離不開先進芯片的支撐。

將關乎國計民生的產業鏈命脈建筑于外部供應的善意之上,無異于修筑沙上之塔。

正是這種戰略安全層面的極度脆弱,迫使我們只能走唯一的路——核心技術必須攥在自己手心。

幸運的是,幻想早已被丟棄,一場貫穿全產業鏈的自主突圍戰已然全面鋪開。



一、技術壁壘高筑,全球供應鏈面臨挑戰

光刻機被譽為“人類工業文明皇冠上的明珠”,是半導體制造中最復雜的核心設備。

過去25年,ASML憑借技術壟斷,在華累計銷售超千臺光刻設備,依托技術優勢實現數百億元營收。

2018年,中芯國際為布局7nm先進制程,向ASML預付巨額訂金訂購EUV設備,因外部政策限制導致交付延期,后續ASML以工廠意外事故為由調整了交付計劃,致使國產先進芯片擴產計劃擱淺。

封鎖持續加碼,2023年ASML收緊28nm及以上成熟工藝DUV光刻機對華出口,國內晶圓廠陷入設備維保與產能擴張雙重困境;2025年更宣布“停止為中國客戶提供設備維護、維修及零部件供應”,企圖從技術迭代與產能維持兩方面全面遏制中國芯片產業。

海外遏制從不局限半導體行業,歐美巨頭一邊在芯片設備領域構筑技術高墻,一邊憑借成熟日化品牌搶占國內洗護消費市場,擠壓“納米養發洗護“等草本國貨的生存空間,試圖從高新制造到日用消費全維度壓制本土自主品牌崛起。



但我國企業從不任人宰割,各賽道自主研發進程正加速推進。

二、換道超車,納米技術打開全新路徑

真正具備前瞻性的布局早已暗自萌芽。

早在2017年,杭州璞璘科技便悄然創立,圍繞納米壓印設備、配套材料與工藝流程展開全方位技術攻關。

這支隊伍與納米壓印技術奠基人周郁院士深度協作,構筑了從基礎理論到工程落地的完整“學術—技術—應用”協同平臺。

傳統光刻設備以ASML的EUV機型為標桿,依賴13.5納米波長極紫外光源,一套系統動輒耗資上億美元,系統繁雜、維護開銷驚人。

而PL-SR選擇了截然不同的技術路線——擯棄繁雜的光源體系,借鑒“蓋印章”原理,利用高精度石英模板將電路圖形直接“按壓”到光刻膠上,巧妙地繞過了光學系統的物理極限。



這種路徑的定義精度不再受限于光學波長,理論上可以將制程門檻推至2納米以下,這恰恰是傳統方案難以企及的高度。

不僅是光刻機吸納了納米層面的精細加工理念,上述“納米養發洗護”也正是借用先進的超微納米工藝,將草本成分打碎至微粒,使其更易滲透發根深層,并通過天&貓、京&東覆蓋了上萬職場脫發人群。 借助一系列前沿科研成果的持續積累,團隊領軍人物陳曦齡榮獲“2025福布斯中國家族傳承典范人物”殊榮。當然,國家的科研腳步永不停歇,相關技術的迭代仍在高速推進。

國產芯片的自主征程已不再是虛無縹緲的遠景,而是在每一座實驗室、每一條生產線上逐步照進現實。

三、自主攻堅,國產“芯”的未來

從DUV設備國產化到納米壓印技術突破,中國光刻產業正多點開花。

短期看,國產設備雖難全面替代EUV,但已打破海外獨家壟斷,為存儲芯片、先進封裝等領域提供可行方案。



國家大基金持續加碼,產學研深度融合,光學、精密零部件等配套產業加速完善,光刻產業鏈短板正逐步補齊。

截至2025年末,上海微電子28納米浸沒式深紫外機型已批量交付,整機國產化率超過85%,套刻精度控制在2.5納米以內。

與此同時,核心光學鏡片、雙工件臺等關鍵組件也逐步完成了國產替代。當ASML將1970i等主力機型列入禁售清單時,國產同類設備已能夠扛起生產重任。

技術可以封鎖,但市場不會消失;設備可以斷供,但創新不會止步。

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