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光刻機巨頭意識到,中國造不成光刻機,但是要造一個光刻工廠!

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全球半導體圈子最近流傳一句話,出自ASML現任掌門人傅恪禮之口。話不多,意思卻直指要害——真要把中國逼到沒路走,等人家自己把東西琢磨出來了,將來沒準輪到中國把設備往外賣。

這話從一個掌控著全球唯一EUV光刻機量產能力的企業掌門人嘴里說出來,分量不一樣。不是客套,不是場面話,是實實在在的擔憂。



先看一組讓ASML坐不住的數字。

2026年一季度財報顯示,中國大陸市場在ASML總營收中的比重,從上一季度的超過三成驟降至19%。韓國趁勢上位,拿下了ASML全球最大單一市場的頭銜,中國退居第三。一年前還是"頭號客戶",眨眼間就被擠到了后面。

財報公布當天,ASML同步宣布了兩件事:裁撤1700個崗位,未來三年拿出120億歐元回購股票。有錢把自家股份買回去,卻要砍掉一千七百人的飯碗——這種操作放在哪個國家,輿論場都不會安靜。

ASML自己也算過一筆賬:2025年全年,中國市場貢獻了大約三分之一的營收,折合人民幣將近七百億。而2026年這一比例預計會從三分之一滑落到五分之一,直接蒸發的營收規模,差不多等于公司兩年的研發總投入。



可讓ASML真正兩頭受氣的,不光是市場份額的問題。

美國那邊的壓力是一環扣一環的。2026年3月11日,荷蘭外交大臣在議會明確表態,全面收緊對華半導體設備出口管制,28納米和45納米成熟制程的DUV光刻機直接被劃進了禁運范圍,新規當天生效,沒留任何緩沖。

4月2日,美國國會又推出了MATCH法案,核心目的是把美國與荷蘭、日本之間的半導體設備出口管控協同機制正式化、加速化,把漏洞全部堵上。這項法案不光把浸潤式DUV光刻機列入了禁止出口清單,連帶安裝、維修、軟件更新、技術支持等后續服務也全部切斷,還要求荷蘭等盟友在150天內落實同等禁令。



一邊是美國逼著不許賣,另一邊中國在稀土端也動了真格。

阿斯麥的光刻機離不開稀土——精密光學部件、機械傳動系統,大量組件都含有中國稀土材料。2025年10月中國升級稀土出口管制后,明確規定含0.1%以上中國稀土的光刻機類產品須經中方審批。這一條直接卡住了ASML的供應鏈。

夾在中間的ASML,荷蘭政府砸了約200億人民幣想穩住它,但2025年5月,ASML還是宣布在法國建設先進光刻研發中心,首批數百名核心工程師已動身赴法。扎根荷蘭四十年的企業開始往外遷,這件事本身已經說明了一切。

ASML前任掌門人彼得·溫寧克對此看得很透,他在財報會上直接講:管制越嚴,就越是在給自己培養將來最強的對手。現在回頭看,這話簡直像是提前寫好的劇本。



既然短期內很難在精密儀器層面復刻光刻機,那能不能換一種打法?

清華大學工程物理系唐傳祥教授團隊在《自然》期刊上發表了一篇論文,報告了一種叫"穩態微聚束"(SSMB)的新型粒子加速器光源完成了首次原理驗證。

打個比方:ASML的EUV光源功率大約250瓦,塞進一臺機器里,夠一臺設備用。而SSMB方案用同步輻射光源做EUV光源,理論輸出功率可以超過10千瓦。一個是水杯,一個是水庫,完全不是一個量級。

業內的說法更形象:ASML做的叫"制造",SSMB-EUV做的叫"建造"。整套設施長200米、寬20米,能同時給幾十臺光刻機供能,說白了更像一座EUV光刻機工廠。核心思路就是把EUV光源變成類似發電站的基礎設施,集中供能給多個光刻工位。



2022年12月6日,雄安新區與清華大學簽署了合作意向書。2023年1月,項目團隊赴雄安實地考察。儲存環全相干光源關鍵技術驗證項目已于2024年10月啟動,周期到2026年10月。與此同時,國產EUV-FEL技術路線也在推進,總投資約41億元,計劃2026年前驗收。多條路徑同時走,這恰恰是中國工業體系最拿手的事。

當然必須說清楚,SSMB路線的失敗風險在所有方案中是最高的,大量技術難題還沒解決,實用時間表也不確定。但它也是想象力最大的一條路。

"光刻工廠"是長期布局,眼下的產能缺口還得靠成熟制程來填。



2025年5月,上海微電子裝備集團交付了首臺28nm浸沒式光刻機,已在中芯國際等頭部企業完成驗證,良品率達到90%,滿足量產要求,計劃2025年交付10臺以上,2026年規模化量產。

有人覺得28nm"過時"了,但事實是全球約80%的芯片需求集中在這個制程上——汽車芯片、電源管理芯片、MCU,全是剛需。真正撐起一個國家工業運轉的,恰恰是這些不起眼的成熟制程芯片。

供應鏈端的突破同樣值得關注:科益虹源的高功率準分子激光器已量產供貨,打破了美國Cymer的壟斷;國望光學的沉浸式投影物鏡通過驗證;華卓精科成為全球第二家掌握雙工件臺技術的企業;南大光電的ArF光刻膠實現批量供貨。從光源到鏡頭,從工件臺到光刻膠,國產化鏈條正在成型。



2025年上半年,中國半導體設備進口額同比下降28%,國產設備市場份額突破40%。信號很明確:不是不想買,是越來越多的環節已經不用買了。

ASML真正怕的,從來不是中國明天就造出一臺2納米光刻機——那確實還早。

它怕的是中國不再沿著它劃好的賽道跑。無論是SSMB的"大工程"思路,還是成熟制程的全鏈條替代,本質上都在繞開西方花幾十年壘起來的專利墻和技術護城河。



傅恪禮那句"把中國逼急了,搞不好將來是中國賣給我們",不是嚇唬誰,是一個行業掌門人基于現實做出的判斷。他的前任彼得·溫寧克也說過類似的話:技術再牛,丟了中國市場,也養不起家門口幾百家供應商。

兩任CEO都看明白了,可禁令還是簽了。

回頭看看過去這些年,西方卡航天,中國建了空間站;卡導航,搞出了北斗;卡超算芯片,做出了自主處理器。每一次封鎖,到頭來都成了自主創新的催化劑。

光刻機這一關也不會例外。只不過這一次,中國的回答更大膽——不是造一臺機器,是建一整座工廠。等那座工廠真正轉起來,全球半導體這盤棋,就該換一種下法了。

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