“我們的課堂在無塵車間，課題就是企業(yè)的研發(fā)難題。”6月中旬，上海海洋大學(xué)首屆集成電路專項(xiàng)班研究生胥沛雯和周正剛剛脫下碩士袍、參加完畢業(yè)典禮，就帶著一份格外特別的“畢業(yè)成績(jī)單”前往上海邦芯半導(dǎo)體。

就在不久前，他們帶著兩年半扎根企業(yè)一線攻克國(guó)產(chǎn)芯片制造“卡脖子”工藝的實(shí)戰(zhàn)成果，在一場(chǎng)設(shè)于企業(yè)內(nèi)部的碩士學(xué)位論文答辯會(huì)上，贏得了高校教授和國(guó)家級(jí)行業(yè)專家的全票通過，成為上海海洋大學(xué)首批以實(shí)踐成果申請(qǐng)并獲授碩士學(xué)位的專業(yè)碩士。

打造產(chǎn)教融合“海大方案”

“一代設(shè)備，一代工藝，一代芯片”。在全球科技競(jìng)爭(zhēng)日趨白熱化的今天，高端制造裝備自主可控已成為我國(guó)實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)的核心關(guān)鍵。上海海洋大學(xué)與邦芯半導(dǎo)體強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，緊密圍繞國(guó)產(chǎn)關(guān)鍵機(jī)臺(tái)底層技術(shù)需求打造集成電路專項(xiàng)班，正是肩負(fù)“大國(guó)重器、自主突圍”時(shí)代使命的生動(dòng)實(shí)踐。

專項(xiàng)班深度對(duì)接《支持臨港新片區(qū)加大先行先試探索深化產(chǎn)教融合城市建設(shè)若干措施》與《上海高等教育質(zhì)量提升十大專項(xiàng)計(jì)劃實(shí)施方案（2023—2026年）》要求，堅(jiān)持“把企業(yè)真實(shí)痛點(diǎn)作為畢業(yè)課題，把實(shí)戰(zhàn)設(shè)備工藝突破作為畢業(yè)答卷”，探索形成了可復(fù)制、可推廣的產(chǎn)教融合工程碩博士培養(yǎng)“海大方案”。

無塵車間里“煉”出真本事

首屆專項(xiàng)班的兩位同學(xué)自2024年3月加入聯(lián)合培養(yǎng)項(xiàng)目以來，便一頭扎進(jìn)邦芯半導(dǎo)體的無塵車間，將課題直指制約國(guó)產(chǎn)設(shè)備突圍的最前沿技術(shù)盲區(qū)，在真實(shí)的產(chǎn)業(yè)環(huán)境中淬煉解決復(fù)雜工程問題的真本領(lǐng)。

胥沛雯深耕深硅刻蝕，為三維先進(jìn)封裝破題

胥沛雯啃的“深硅刻蝕”這根硬骨頭是三維先進(jìn)封裝的關(guān)鍵工藝，稍有不慎就會(huì)出現(xiàn)側(cè)壁缺陷、加工效率上不去。在許競(jìng)翔教授和王士京博士指導(dǎo)下，他依托邦芯自研的“Topaz”深硅刻蝕機(jī)，泡在車間里反復(fù)調(diào)試參數(shù)，手指在設(shè)備面板上飛舞了成百上千次，最終自主開發(fā)出原位平滑工藝，還提出了等效開口率負(fù)載模擬法。兩年半下來，他硬是“攢”出了6項(xiàng)發(fā)明專利，交出了一份讓企業(yè)專家都豎起大拇指的實(shí)戰(zhàn)答卷。

周正潛心鎢金屬填充，為先進(jìn)制程互連攻關(guān)

周正則“鉆”進(jìn)了鎢金屬填充的世界。在褚振華教授和涂樂義博士指導(dǎo)下，他另辟蹊徑，從設(shè)備底層控制架構(gòu)“動(dòng)手術(shù)”，引入可編程邏輯控制器和可控硅調(diào)壓器，把傳統(tǒng)設(shè)備的“反應(yīng)慢”“溫度飄”的毛病一一治服。他開發(fā)的低阻鎢微孔填充工藝，硬是在低電阻、高填充率和量產(chǎn)效率之間找到了那個(gè)“黃金平衡點(diǎn)”，還拿下了2項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利。

從車間答辯走向產(chǎn)業(yè)舞臺(tái)

為全方位評(píng)估專項(xiàng)班學(xué)生的培養(yǎng)質(zhì)量，本次答辯委員會(huì)由張江實(shí)驗(yàn)室、上海邦芯半導(dǎo)體及外部行業(yè)資深專家共5人組成，嚴(yán)格按照專業(yè)工程碩士培養(yǎng)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)審。答辯過程中，兩位同學(xué)不僅系統(tǒng)闡述了工藝方案設(shè)計(jì)、產(chǎn)線機(jī)臺(tái)驗(yàn)證、研究結(jié)論突破的完整工程實(shí)踐鏈條，更針對(duì)答辯委員會(huì)提出的核心工藝產(chǎn)業(yè)化前景、設(shè)備實(shí)際運(yùn)行狀況、工程落地價(jià)值等實(shí)戰(zhàn)問題，給出了條理清晰、專業(yè)扎實(shí)的解答。經(jīng)閉門評(píng)議并無記名投票，答辯委員會(huì)一致認(rèn)為，兩名同學(xué)的學(xué)位論文達(dá)到了專業(yè)工程碩士研究生水平，其展現(xiàn)出的解決復(fù)雜工程問題的能力和產(chǎn)業(yè)實(shí)踐素養(yǎng)得到了專家們的高度評(píng)價(jià)。

將學(xué)位論文答辯現(xiàn)場(chǎng)“搬”進(jìn)企業(yè)，是上海海洋大學(xué)落實(shí)《中華人民共和國(guó)學(xué)位法》要求、推進(jìn)研究生教育評(píng)價(jià)改革的重要舉措。這一模式打破了傳統(tǒng)“唯論文”的評(píng)價(jià)體系，樹立了“以實(shí)踐成果為核心、以產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)為導(dǎo)向”的工程人才評(píng)價(jià)新標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了人才培養(yǎng)與產(chǎn)業(yè)需求的無縫銜接。

校方透露，未來將繼續(xù)攜手邦芯半導(dǎo)體等行業(yè)頭部企業(yè)，秉持“產(chǎn)教融通、協(xié)同育人”理念，讓更多學(xué)生在無塵車間的“煙火氣”中成長(zhǎng)。

原標(biāo)題：《課堂在無塵車間，課題是工藝難題！這兩名研究生靠實(shí)踐成果通過學(xué)位答辯！》