陜西
液體顆粒計數(shù)器在電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法
一、前言
為什么要對電子級硫酸進行顆粒管控：電子級硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要 的影響。電子級硫酸是芯片制造工藝中用量最大的電子化學品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達到 ppt 級目前，我國電子級硫酸產(chǎn)品完全依賴德國 BASF 等外企進口，嚴重制約我國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展，是主要“卡脖子”產(chǎn)品之一。近兩年，我國電子級硫酸制備技術取得突破，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高，電子級硫 酸產(chǎn)品中金屬離子濃度均小于 10ppt，超越了國際 SEMI-C12（金屬離子<100ppt） 級別，與國際電子化學品供應量最大、品質(zhì)最好的巴斯夫電子級硫酸品質(zhì)處同一級（金屬離子<10ppt），達到國內(nèi)領先、世界一流水平。基于上述原因，我國新的電子級硫酸標準將于 2023 年 5 月 1 日正式施行，也將顆粒管控提到了標準管控層面
二、電子級硫酸管控有哪些難點
有 2 個，一個是硫酸的腐蝕性，一個是硫酸的濃度。98%濃度的電子級硫酸 的腐蝕性很強，這個就要求顆粒管控的儀器的耐強腐蝕很強。高濃度的硫酸檢測， 接液材質(zhì)達不到這個檢測濃度就無法需要稀釋檢測，稀釋又會存在手動稀釋和自動稀釋的問題，都是給電子級硫酸檢測無形中增加了麻煩。
三、解決方案
針對這 2 個問題，普洛帝研發(fā)團隊經(jīng)過反復試驗，攻破了這 2 個難點，將電 子級硫酸的檢測濃度提升到 98%。在高濃度強酸性的情況下，依然可以實現(xiàn)顆粒 管控的準確性。這款儀器就是普洛帝自主研發(fā)的品牌型號 PMT-2，選用 0.1-1.0um 檢測范圍的強腐蝕性傳感器，實現(xiàn)了電子級硫酸的顆粒管控目的。目前，已經(jīng)在江蘇、廣東等地的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)得到了應用。
四、實驗前準備工作
1. 儀器準備：確保液體顆粒計數(shù)器處于良好工作狀態(tài)，檢查光源、傳感器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是否正常。
2. 樣品準備：選擇具有代表性的電子級氨水樣品，確保其符合檢測要求，并存儲在適當?shù)娜萜髦小?br/>3. 環(huán)境準備：確保實驗室環(huán)境干凈、無塵，以避免外界顆粒對測試結果的影響。
五、實驗數(shù)據(jù)
六、結果解釋與報告
1. 結果解釋：根據(jù)處理后的數(shù)據(jù)，對電子級硫酸管的粒徑分布進行解釋，分析可能的影響因素。
2. 報告編寫：將實驗過程、數(shù)據(jù)處理結果和結果解釋整理成詳細的報告，供后續(xù)研究或質(zhì)量控制參考。
通過上述步驟，我們可以準確、高效地檢測分析電子級硫酸管的粒徑分布，為相關領域的研究和應用提供有力支持。
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