2023年那會兒，光刻機(jī)這件事真讓人憋屈。美國一紙禁令下來，ASML的EUV光刻機(jī)整機(jī)對中國出口全面封死。荷蘭工廠倉庫里，打包好的設(shè)備愣是沒法發(fā)貨，中國企業(yè)簽好的訂單說廢就廢。華盛頓那邊態(tài)度很明確：掐死光刻機(jī)這根管子，中國想在先進(jìn)芯片上往前走一步，門都沒有。

全球輿論當(dāng)時幾乎站成一排——這下中國芯片真的要歇菜了吧？ASML的CEO克里斯托夫·富凱甚至公開放話，說因為美國禁售EUV光刻設(shè)備，中國芯片技術(shù)將落后西方十年到十五年。

可后來發(fā)生的事，打了太多人的臉。2025年3月27日，清華大學(xué)中國經(jīng)濟(jì)思想與實踐研究院院長李稻葵，受邀出席中國公共外交協(xié)會在北京舉辦的＂臨甲7號沙龍＂交流會。五十多家中外媒體記者在場，他說了一句后來傳遍全網(wǎng)的話——＂這些限制不可能阻擋中國科技進(jìn)步，反而可能會促進(jìn)。＂緊接著他又補(bǔ)了一句更狠的：＂等我們搞出來了，你想賣我也不要了。＂

林楠從前是荷蘭ASML公司的研發(fā)科學(xué)家，在ASML干了多年，連續(xù)六年拿過ASML專利獎，對EUV光源技術(shù)門兒清。2021年，他作為海外高層次人才回國，落腳中國科學(xué)院上海光機(jī)所，成立先進(jìn)光刻技術(shù)研究組，開始啃最硬的一塊骨頭——EUV光源。

EUV光源有多重要？過去全世界的EUV光刻機(jī)光源，幾乎全靠美國Cymer公司壟斷。它用的是CO?激光系統(tǒng)，價格貴得離譜，交貨周期動不動一年以上，而且已經(jīng)被美國列入＂不可出口＂類別。

買不到，就只能自己造。林楠團(tuán)隊走了一條全新的路——放棄CO?激光，改用1μm固體脈沖激光器驅(qū)動。2025年4月29日，上海光機(jī)所宣布完成國產(chǎn)EUV光源關(guān)鍵突破，轉(zhuǎn)換效率（CE）最高達(dá)到3.42%，超過了荷蘭與瑞士研究團(tuán)隊的水平。

雖然距離商用標(biāo)準(zhǔn)5.5%還有距離，但團(tuán)隊預(yù)估理論最大轉(zhuǎn)換效率可能接近6%。這意味著，核心光源這一關(guān)，我們不再被人拿捏了。從0到1，這一步邁出去，后面的路就活了。

2025年8月，杭州城西科創(chuàng)大走廊，浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地里，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)＂羲之＂正式亮相，進(jìn)入客戶應(yīng)用測試。精度0.6納米，線寬8納米，不需要掩膜版，電子束直接在硅片上＂手寫＂電路。名字取得講究——王羲之用毛筆寫字，＂羲之＂用電子束寫芯片。

這臺設(shè)備由浙大余杭量子研究院自主研發(fā)，專門服務(wù)量子芯片與新型半導(dǎo)體研發(fā)。以前這類設(shè)備受出口管制，國內(nèi)頂尖機(jī)構(gòu)想買都買不到，只能干瞪眼。＂羲之＂的出現(xiàn)，直接補(bǔ)上了這個缺口。

當(dāng)然得實話實說。電子束光刻機(jī)跟EUV比起來，速度差太遠(yuǎn)——光學(xué)光刻機(jī)一小時處理幾十片甚至上百片晶圓，電子束光刻的效率差了將近三個數(shù)量級。它不是EUV的替代品，更適合做研發(fā)階段的原型驗證與小批量調(diào)試。但問題是，以前連做研發(fā)都沒趁手工具，現(xiàn)在終于有了自己的家伙事兒。

2025年8月初，璞璘科技成功交付中國首臺半導(dǎo)體級步進(jìn)式納米壓印光刻系統(tǒng)，支持線寬小于10nm。這東西的原理跟蓋章差不多——把圖案直接壓到晶圓上，不用復(fù)雜光源，成本低，能耗也低。在線寬指標(biāo)上，已經(jīng)超過了日本佳能同類設(shè)備14nm的水平。

雖然納米壓印在量產(chǎn)速度上還比不過光刻技術(shù)，但在存儲芯片以及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，它已經(jīng)具備了實打?qū)嵉膽?yīng)用潛力。

三條技術(shù)路線，三個方向同時發(fā)力。上海攻光源，杭州搞電子束，璞璘做納米壓印。沒有人傻乎乎地去照搬ASML的路線，而是各找各的突破口。

那美國這邊呢？2024年11月應(yīng)用材料公司公布了第四財季財報。數(shù)據(jù)很有意思——來自中國大陸的銷售額同比下降28%至21.4億美元，占總營收比例從44%掉到30%。不是他們產(chǎn)品賣不動了，是自己把市場讓出去了。

到了2025年第三財季，中國區(qū)營收占比回到35%，但公司內(nèi)部預(yù)計，中國業(yè)務(wù)的下降趨勢還會持續(xù)好幾個季度。

ASML那邊的數(shù)據(jù)也挺微妙。2024年，ASML向中國大陸交付了大約150臺光刻機(jī)，中國大陸的銷售額占ASML整體比重升到46%。但這些全是DUV設(shè)備——EUV已經(jīng)一臺都賣不了了。等到國產(chǎn)DUV逐步成熟，連這塊蛋糕也未必保得住。

2025年5月16日，新華社發(fā)了一篇評論，標(biāo)題直截了當(dāng)——＂美國低估了中國，高估了自己。＂文章說得很清楚：用非市場手段切斷合作，結(jié)果是供應(yīng)鏈混亂、標(biāo)準(zhǔn)割裂、企業(yè)失去全周期客戶。美國想用＂斷供＂來掐住中國，卻沒想到，斷供本身反而成了最大的催化劑。

李稻葵還說過一句話，我覺得特別到位：＂以前用別人的，就不想做自己的；現(xiàn)在不能用了，反而逼出真正的動力。＂這話可能放在兩年前說，很多人會覺得是嘴硬。但放在今天，上海光機(jī)所的EUV光源數(shù)據(jù)擺在那里，＂羲之＂的測試報告擺在那里，璞璘科技的交付記錄擺在那里——每一項都是白紙黑字，不是口號。

半導(dǎo)體這場仗遠(yuǎn)沒有打完。EUV整機(jī)量產(chǎn)還有很長的路要走，產(chǎn)業(yè)鏈上的短板也不可能一夜之間全部補(bǔ)齊。誰要是跟你說中國光刻機(jī)已經(jīng)全面趕超，那是吹牛。但方向已經(jīng)不可逆了——當(dāng)買家被逼成制造商，賣家的日子就不好過了。

ASML的CFO也承認(rèn)，中國確實有可能造出EUV光源。他說的是＂還需要很多年＂，可＂很多年＂這個詞在2023年說出來，大家默認(rèn)是十年。兩年過去，階段性成果一個接一個地冒頭，誰還敢拍胸脯說剩下的時間一定夠用？市場從來不講感情。