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10×10nm!全球最小的商用傳感器

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該傳感器尺寸大致與一枚晶體管相當(dāng)。

Digid公司設(shè)計(jì)出全球最小商用傳感器,尺寸小到可集成在皮下注射針頭頂端,或是力感應(yīng)手術(shù)刀的刀刃邊緣,并且已經(jīng)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。



圖 1:Digid的納米級(jí)傳感方案可實(shí)現(xiàn)力感應(yīng)末端執(zhí)行器,例如應(yīng)用于機(jī)器人輔助手術(shù)。

全球最小的商用傳感器

Digid首席技術(shù)官Konstantin Kloppstech博士表示:“該傳感器可微型化至10×10納米見方,尺寸大致與一枚晶體管相當(dāng)。” Digid成立于2019年,產(chǎn)能已從每周生產(chǎn)5枚傳感器,提升至計(jì)劃202 年交付240萬(wàn)枚,并將向半導(dǎo)體廠商進(jìn)行技術(shù)授權(quán)。據(jù) Kloppstech 介紹,截至2025年,公司已累計(jì)生產(chǎn)超過(guò)100萬(wàn)枚傳感器。

納米級(jí)傳感器技術(shù)應(yīng)用前景廣闊,可讓金屬、聚合物、陶瓷、半導(dǎo)體等各類材料實(shí)現(xiàn) “智能化”,目前該公司已 “與德國(guó)一家大型 MEMS 供應(yīng)商展開合作,將Digid溫度傳感器用于電力電子領(lǐng)域”。



圖 2:Digid的全線產(chǎn)品。

100mV 驅(qū)動(dòng),輸出等效溫度電壓信號(hào)

該公司研發(fā)出一種可將傳統(tǒng)惠斯通電橋應(yīng)變計(jì)電路微型化的方案。應(yīng)變計(jì)可在彈性極限內(nèi)將機(jī)械形變(拉伸或壓縮)轉(zhuǎn)化為成比例的電阻或電壓變化,且本身具備溫度補(bǔ)償特性。Digid還利用其納米溫度傳感器搭建出惠斯通電橋,可直接輸出電壓信號(hào)而非電阻值。換言之,通過(guò)該技術(shù),只需將這種納米惠斯通電橋陣列嵌入材料,就能制成具備溫度或力感應(yīng)特性的智能材料。



圖 3:集成在指尖大小區(qū)域的完整惠斯通電橋電路。

據(jù)Kloppstech介紹,該傳感器特性與負(fù)溫度系數(shù)(NTC)熱敏電阻類似,溫度升高時(shí)電阻下降,“但與普通 NTC 僅做電阻率測(cè)量不同,我們可直接輸出等效溫度的電壓信號(hào)”。傳統(tǒng) NTC 傳感器需要工程師處理非線性校準(zhǔn)曲線并進(jìn)行補(bǔ)償,而 Digid的 NTC 傳感器線性區(qū)間更寬,補(bǔ)償需求更低,這也是其與同類技術(shù)的核心差異。基于二極管的傳感器、環(huán)形振蕩器、電阻溫度探測(cè)器(RTD)以及常規(guī) NTC 熱敏電阻,均需要不同形式的補(bǔ)償(如調(diào)整傳感器尺寸或軟件校準(zhǔn)),這類數(shù)字處理開銷會(huì)降低測(cè)量精度與準(zhǔn)確度。

“我們驅(qū)動(dòng)傳感器的電壓通常遠(yuǎn)低于 1 伏,多數(shù)場(chǎng)景下 100 毫伏即可正常工作。” 此外,該溫度傳感器靈敏度可達(dá)每開爾文 100 毫伏(mV/K),遠(yuǎn)高于熱電偶標(biāo)準(zhǔn)的微伏每開爾文(μV/K)水平,單位溫度變化對(duì)應(yīng)的輸出電壓更高。

該公司還可通過(guò)制造工藝調(diào)整傳感器的標(biāo)稱電阻率(R??)與電阻溫度系數(shù)(TCR),TCR 可從標(biāo)稱每開爾文 1% 調(diào)節(jié)至 1.8%。TCR 可調(diào)意味著單位溫度變化對(duì)應(yīng)的電壓擺幅可靈活設(shè)定,主要適配后端信號(hào)處理需求。

調(diào)整 R??可讓物理導(dǎo)線或引腳與傳感器連接產(chǎn)生的接觸電阻(寄生電阻)影響降至可忽略水平。例如,客戶焊點(diǎn)會(huì)給傳感器帶來(lái) 2 歐姆的固定電阻,但若將 R??調(diào)整至千歐級(jí)別,接觸電阻帶來(lái)的影響就只是測(cè)量噪聲,而非測(cè)量誤差。這一特性讓傳感器精度不再依賴裝配精度。Kloppstech 表示:“這讓我們的客戶在電極與觸點(diǎn)工藝上可以更寬松,從而降低制造成本。”

綜上,微型化傳感器的核心優(yōu)勢(shì)在于數(shù)字處理開銷低、體積極小,可直接嵌入待測(cè)基材表面,實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、高精度原位測(cè)量,響應(yīng)時(shí)間低至毫秒級(jí)。

電力電子領(lǐng)域的溫度傳感

Kloppstech 提到,該傳感器一項(xiàng)重要的新興電力應(yīng)用是數(shù)據(jù)中心芯片嵌入式熱傳感:“傳感器可輸出等效溫度電壓信號(hào),且恰好能在 CPU、GPU 通用的低電壓下工作。”



圖 4:芯片級(jí)熱監(jiān)測(cè),包括核心溫度監(jiān)測(cè)與溫控型熱界面材料(TIM)監(jiān)測(cè)。

在下一代 800V “AI 工廠” 中,為高功耗數(shù)據(jù)中心 xPU(GPU、CPU、NPU 等)供電是最核心的電力難題之一。隨著核心電壓降至 1 伏以下,電流可攀升至 2000 安培以上。圍繞高效供電與有效散熱,一整套配套生態(tài)正在形成。加之 AI 負(fù)載對(duì)瞬態(tài)電流要求極高(可達(dá) 100A/μs),且需要低紋波、低噪聲電源軌,進(jìn)一步提升了設(shè)計(jì)難度。

處理器發(fā)熱量大,熱傳感對(duì)熱管理至關(guān)重要。與供電設(shè)計(jì)同理,傳感器越靠近處理器,越有利于提升電源效率、緩解熱節(jié)流。這一復(fù)雜問(wèn)題長(zhǎng)期制約芯片吞吐量,導(dǎo)致大量處理器性能無(wú)法釋放。Kloppstech 表示:“行業(yè)數(shù)據(jù)顯示,在移動(dòng)設(shè)備等場(chǎng)景中,熱節(jié)流會(huì)造成 20% 至 30% 的算力損失。”

處理器集成度高、機(jī)柜空間有限,對(duì)小尺寸方案提出硬性要求。“行業(yè)理想狀態(tài)是能監(jiān)測(cè)所有核心,但目前仍缺少合適的微型溫度傳感器。即便二極管傳感器,在 GPU 高集成度場(chǎng)景下也難以適配。” 他認(rèn)為,借助 Digid的傳感器技術(shù),企業(yè)可實(shí)現(xiàn)芯片級(jí)負(fù)載均衡,而非盲目過(guò)度散熱:“一塊 GPU 可包含數(shù)萬(wàn)個(gè)核心,理想情況下需要對(duì)每個(gè)核心做負(fù)載均衡,但如果溫度傳感器尺寸相當(dāng)于 6000 個(gè)核心,這一切都無(wú)從談起。”

Digid認(rèn)為,其技術(shù)平臺(tái)可支撐熱感知調(diào)度,精準(zhǔn)建模多核處理器中所有核心的熱行為,即便芯片核心密度持續(xù)提升也能適配。“高精度傳感器可帶來(lái)約 3℃的熱裕量提升,在不增加成本與妥協(xié)的前提下,算力可提升約 20%。” 他同時(shí)提到該技術(shù)對(duì)散熱的影響:“目前數(shù)據(jù)中心約 10% 的能耗用于散熱,具備可觀的節(jié)能空間。”

Kloppstech 補(bǔ)充道:“芯片行業(yè)普遍使用二極管作為溫度傳感器,但實(shí)現(xiàn)起來(lái)十分繁瑣,還需要做大量補(bǔ)償。” 該公司已開展實(shí)驗(yàn),在 1.4×1.4 平方毫米區(qū)域內(nèi)為 CPU、GPU 集成 265 個(gè)溫度傳感器陣列,構(gòu)建高精度實(shí)時(shí)熱分布圖,用于監(jiān)測(cè)芯片負(fù)載均衡。“數(shù)據(jù)中心運(yùn)營(yíng)商希望淘汰傳統(tǒng)技術(shù),因?yàn)樗鼈冋加昧诉^(guò)多寶貴的芯片面積。”

該技術(shù)還可融入芯片版圖設(shè)計(jì)流程。事實(shí)上,Digid正積極與企業(yè)合作,推動(dòng)其半導(dǎo)體兼容工藝在客戶潔凈車間落地。“這是我們當(dāng)前的工作方向,但落地周期較長(zhǎng)。”Kloppstech 表示,公司正向晶圓代工廠或光刻設(shè)備廠商(如 IMEC、ASML、臺(tái)積電)提供相關(guān)工藝方案。

該公司還開發(fā)了多款集成溫度傳感器的熱界面材料(TIM)方案,可監(jiān)測(cè)芯片與散熱器之間的熱傳遞。“芯片全流程熱監(jiān)測(cè)是我們的重要市場(chǎng),有助于降低數(shù)據(jù)中心總體擁有成本。”

這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用范圍極廣,目前已獲得數(shù)據(jù)中心、汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域客戶的認(rèn)可。據(jù) Kloppstech 透露,公司 A 輪融資已結(jié)束,2026 年將啟動(dòng) B 輪融資。目前團(tuán)隊(duì)面臨的挑戰(zhàn)之一,是挖掘這項(xiàng)技術(shù)全部的潛在終端應(yīng)用場(chǎng)景。

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