文章來源于QuantumDesign，點擊關(guān)注！

在微納加工技術(shù)成為前沿科研創(chuàng)新核心驅(qū)動力的當(dāng)下，一款兼具高精度、高速度、高靈活性與高穩(wěn)定性的光刻設(shè)備，是實現(xiàn)從材料創(chuàng)新到器件落地的關(guān)鍵支撐。小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3憑借自研突破技術(shù)，重新定義科研級光刻標(biāo)準(zhǔn)，成為斯坦福大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)等知名團隊的核心選擇。該設(shè)備助力科研人員斬獲8 篇《Nature》正刊及多篇《Nature Electronics》、《Nature Materials》高水平成果，研究領(lǐng)域覆蓋柔性電子、二維半導(dǎo)體、類腦芯片、具身智能、太空電子、光子學(xué)、鋰電池等多個前沿方向，成為跨領(lǐng)域科研突破的 “桌面級微納加工神器”，更是科研團隊發(fā)表高水平頂刊論文的核心硬件支撐。

硬核技術(shù)參數(shù)，定義臺式光刻新高度

小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3以極致性能參數(shù)，破解傳統(tǒng)光刻技術(shù)的多重瓶頸，為各領(lǐng)域微納加工科研創(chuàng)新提供堅實且可靠的硬件支撐，核心技術(shù)特點如下：

• 無掩膜設(shè)計，靈活高效：徹底擺脫傳統(tǒng)光刻對掩膜板的依賴，可直接在基底上完成高精度光刻任務(wù)，支持快速迭代驗證，大幅縮短研發(fā)周期，滿足科研中多樣化、個性化的加工需求。

• 緊湊設(shè)計，空間友好：采用集成化設(shè)計，機身尺寸僅 70 cm×70 cm×70 cm，無需專用實驗室空間，輕松適配各類桌面環(huán)境，讓前沿光刻技術(shù)走進普通實驗室。

• 超高精度，細(xì)節(jié)制勝：最高有效直寫精度可達(dá) 0.4 μm，亞微米級的加工精度確保微納結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)復(fù)刻，為高密度器件集成提供核心保障。

• 極速加工，效率拉滿：加工速度最高可達(dá) 180 mm2/min，可支持多基片自動順序加工，兼顧高精度與高效率，加速科研進程。

• 多光源適配，兼容廣泛：靈活選用 405 nm、365 nm 和 385 nm 單一或組合光源，適配各類商業(yè)化正膠與負(fù)膠，同時支持最大 12 英寸晶圓到微小二維材料樣品的全尺寸加工，兼容硅、藍(lán)寶石、柔性薄膜、玻璃等多種基底。

• 智能穩(wěn)定，操作便捷：全自動控制系統(tǒng)搭配人性化人機交互界面，加工重現(xiàn)性優(yōu)異，確保實驗數(shù)據(jù)的可靠性與可重復(fù)性；無需專業(yè)光刻工程師，普通科研人員即可快速上手，降低技術(shù)門檻。

小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)- MicroWriter ML3

（點擊直達(dá)產(chǎn)品詳情頁）

若您對設(shè)備有任何問題，歡迎掃碼咨詢！

高水平成果收割機，彰顯核心加工能力

MicroWriter憑借強大的微納加工能力，成為全球頂尖團隊突破技術(shù)瓶頸的核心助力，在柔性電子、二維半導(dǎo)體、類腦芯片等六大前沿領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，助力產(chǎn)出多篇高水平成果。

PART.01

光子學(xué)領(lǐng)域的研究應(yīng)用

《Nature》：Titanium: sapphire-on-insulator integrated lasers and amplifiers

斯坦福大學(xué)Jelena Vuckovic老師團隊首次實現(xiàn)絕緣體上鈦藍(lán)寶石（Ti:SaOI）片上集成激光器與寬帶放大器，利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3制備出表面粗糙度均方根值為 1.6 ?的微盤諧振腔，把傳統(tǒng)臺式鈦寶石激光系統(tǒng)微型化到芯片級，體積上縮小了10000倍，成本降低了1000倍，更是解決了此前片上鈦寶石增益弱、功率低、無調(diào)諧與放大的核心痛點。

PART.02

柔性電子領(lǐng)域的研究應(yīng)用

《Nature》：High-speed and large-scale intrinsically stretchable integrated circuits

斯坦福大學(xué)鮑哲南老師團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3制備出了大規(guī)模集成的本征可拉伸晶體管和相關(guān)器件，集成規(guī)模達(dá)每平方厘米100,000個，在100%應(yīng)變條件下平均場效應(yīng)遷移率超過20 cm2/Vs，5 V電壓下驅(qū)動電流達(dá)2 μA/μm，首次實現(xiàn)具有1000多個晶體管的大規(guī)模集成電路。其高吞吐量能力，高刷新頻率的盲文識別系統(tǒng)，以及LED顯示設(shè)備，展示了本征可拉伸晶體管的多功能性和實用性，為實現(xiàn)高度靈活、高性能的可拉伸電子設(shè)備提供了重要的技術(shù)基礎(chǔ)。

《Nature》： High-density soft bioelectronic fibres for multimodal sensing and stimulation

斯坦福大學(xué)鮑哲南老師團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3創(chuàng)造性地將二維薄膜卷成直徑堪比頭發(fā)絲的一維纖維傳感器。并在小鼠大腦和豬腸道中均表現(xiàn)出優(yōu)異性能：可實現(xiàn)長達(dá) 4 個月的連續(xù)高密度單神經(jīng)元記錄，同時還在直徑 230 微米的柔性纖維上集成了 1280 個通道，革命性地推動了微創(chuàng)植入式電子設(shè)備的發(fā)展！

PART.03

二維半導(dǎo)體領(lǐng)域的研究應(yīng)用

《Nature》：A RISC-V 32-bit microprocessor based on two-dimensional semiconductors

復(fù)旦大學(xué)周鵬、包文中聯(lián)合團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3成功研制全球首款基于二維半導(dǎo)體材料的32位RISC-V架構(gòu)微處理器“無極（WUJI）”。 這款微處理器可在 5900 個二硫化鉬（MoS?）晶體管上執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) 32 位指令，并構(gòu)建了包含 25 種邏輯單元的完整標(biāo)準(zhǔn)單元庫。團隊創(chuàng)新性地將制造工藝與電路設(shè)計深度融合，材料晶圓級集成的系列難題，成功實現(xiàn)了 MoS?微處理器的先驅(qū)原型，彰顯了超越硅基的二維集成電路技術(shù)的潛力。

《Nature》：A full-featured 2D flash chip enabled by system integration

復(fù)旦大學(xué)周鵬、劉春森團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3解決了2D材料在粗糙CMOS基底上的集成難題，實現(xiàn)94.34%的高良率； 2D閃存單元具備20 ns超快操作速度與0.644pJ/bit低能耗，芯片支持32位并行、指令驅(qū)動與隨機訪問，滿足系統(tǒng)級應(yīng)用需求；創(chuàng)新性建立“2D器件-CMOS平臺”的協(xié)同集成框架，成功研發(fā)出二維-硅基混合架構(gòu)全功能 2D NOR 閃存芯片，為2D電子學(xué)向?qū)嶋H應(yīng)用轉(zhuǎn)化提供了可復(fù)用的技術(shù)范式。

《Nature》：Radiation-tolerant atomic-layer-scale RF system for spaceborne communication

復(fù)旦大學(xué)周鵬、馬順利研究團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3研制的“青鳥”原子層半導(dǎo)體抗輻射射頻通信系統(tǒng)，依托“復(fù)旦一號”（瀾湄未來星）衛(wèi)星平臺，在國際上首次實現(xiàn)基于二維電子器件與系統(tǒng)的在軌驗證，開辟了原子層半導(dǎo)體太空電子學(xué)領(lǐng)域，標(biāo)志著人類向構(gòu)建高可靠、輕量化的太空電子系統(tǒng)邁出關(guān)鍵一步。

PART.04

鋰電池領(lǐng)域的研究應(yīng)用

《Nature》：Dynamic spatial progression of isolated lithium during battery operation

斯坦福大學(xué)崔屹老師團隊采用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3在玻璃載玻片作為光學(xué)電池的基底上高效制備出了大尺寸銅微電極，實現(xiàn)鋰電池中孤立鋰（i-Li）遷移的實時觀測，揭示 i-Li 動態(tài)響應(yīng)機制，修正了鋰電池失效模型的認(rèn)知基礎(chǔ)，為延長鋰金屬電池壽命提供新方案。

PART.05

過渡金屬二硫?qū)倩锏幕A(chǔ)物理研究應(yīng)用

《Nature》：Intralayer charge-transfer moiré excitons in van der Waals superlattices

加州大學(xué)伯克利分校Steven G. Louie老師團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3在 WSe?/WS?異質(zhì)結(jié)上精準(zhǔn)定義源漏電極，實現(xiàn)無需轉(zhuǎn)移步驟的頂柵晶體管制備，結(jié)合第一性原理計算發(fā)現(xiàn)層內(nèi)電荷轉(zhuǎn)移激子，其電子-空穴空間分離約5nm，顛覆了傳統(tǒng)連續(xù)介質(zhì)模型的預(yù)測。

PART.06

類腦芯片領(lǐng)域的研究應(yīng)用

《Nature Electronics》：A biologically inspired artificial neuron with intrinsic plasticity based on monolayer molybdenum disulfide

復(fù)旦大學(xué)周鵬教授、包文中教授以及香港理工大學(xué)柴揚院士團隊利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3，成功開發(fā)出一種基于單層二硫化鉬（MoS?）的仿生人工新型神經(jīng)元模塊，不僅能像人眼一樣適應(yīng)明暗變化，還能通過調(diào)節(jié)自身興奮度來學(xué)習(xí)識別圖像。

《Nature Materials》：Monolithic cell-on-memristor architecture enables wafer-scale integration of oscillatory chemoreceptors for bio-realistic gustatory chips

中科院半導(dǎo)體所王麗麗研究員和婁正研究員利用小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3制備出一種單片式 Cell-on-Memristor 化學(xué)感知架構(gòu)，將Zn–Ag 原電池與Ta?O? 閾值型憶阻器在同一像素內(nèi)進行單片集成，實現(xiàn)了自供能、離子調(diào)制、電壓振蕩輸出的仿生化學(xué)感受器，并成功應(yīng)用于靜態(tài)/動態(tài)咸味圖譜構(gòu)建與高精度味覺分類。在離子感知范圍、能耗、尺寸及仿生神經(jīng)動力學(xué)特性方面均達(dá)到了接近甚至超越生物神經(jīng)元的水平。

掃描下方二維碼，即刻獲取產(chǎn)品資料，了解更多前沿案例！

全場景適配，成為國際公認(rèn)的科研利器

小型臺式無掩膜直寫光刻系統(tǒng)MicroWriter ML3 以 “高精度、高速度、高靈活、高可靠” 的核心競爭力，實現(xiàn)從基礎(chǔ)研究到器件加工的全流程需求，已成為全球科研團隊的 “標(biāo)配裝備”，持續(xù)為微納加工領(lǐng)域創(chuàng)新賦能。

咨詢直達(dá)

掃描下方二維碼即可咨詢MicroWriter ML3專屬解決方案，解鎖您的高水平科研之路，讓微納加工難題迎刃而解！

點擊關(guān)注，即刻掌握前沿技術(shù)/資訊！