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半導體前道材料(晶圓制造):七大環節國產化率及廠商梳理

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來源:市場資訊

(來源:伏白的交易筆記)

一. 半導體前道材料

半導體材料按工藝環節,可分為前道(晶圓制造)材料、后道(封裝測試)材料。

前道材料占據70%市場規模,主要包括七大類:硅片、掩模版、光刻膠、濕電子化學品、拋光材料、電子特氣、靶材。


二. 七大細分環節梳理

2.1 硅片

(1)作用:半導體制造基底材料,支撐后續光刻、蝕刻等工藝,形成晶體管和電路結構。

(2)組成:由高純度單晶硅(9N以上)經切割、研磨等工藝制得。

(3)分類:按尺寸分為8英寸、12英寸等;按工藝分為拋光片、外延片、SOI硅片。

(4)全球格局:CR5超90%,包括信越化學(日)、SUMCO(日)、環球晶圓(臺)、Siltronic(德)、SK Siltron(韓)。

(5)國內頭部:滬硅產業、立昂微、有研硅。

2.2 掩膜版(光罩)

(1)作用:光刻工藝中的圖形轉移母版,承載著設計好的電路圖案。

(2)組成:由石英玻璃基板、金屬鉻層、感光膠層組成,通過電子束刻蝕出電路圖形。

(3)全球格局:CR5超95%,包括Photronics(美)、Toppan(日)、DNP(日)等。

(4)國內頭部:聚和材料、路維光電、清溢光電。

2.3 光刻膠

(1)作用:光刻工藝中的感光介質,涂覆在晶圓上,曝光后溶解度變化,顯影后留下電路圖案,實現圖形轉移。

(2)組成:由樹脂、感光劑、溶劑、添加劑組成。

(3)分類:按曝光波長分為EUV膠、ArF/KrF膠(DUV)、G/I線膠(UV)。

(4)全球格局:CR5超90%,包括JSR(日)、東京應化(日)、信越化學(日)、富士膠片(日)、杜邦(美)。

(5)國內頭部:南大光電、彤程新材、上海新陽、晶瑞電材。

2.4 濕電子化學品

(1)作用:超凈高純化學試劑,用于晶圓清洗、蝕刻、顯影等工藝。

(2)分類:清洗液、蝕刻液、剝離液、顯影液等。

(3)全球格局:CR5超80%,包括關東化學(日)、巴斯夫(德)、霍尼韋爾(美)、三菱化學(日)。

(4)國內頭部:中巨芯、格林達、江化微。

2.5 電子特氣

(1)作用:高純度特種氣體,用于蝕刻、薄膜沉積、摻雜、清洗等工藝。

(2)分類:全領域超百種,分為蝕刻氣、沉積氣、清洗氣、摻雜氣等。

(3)全球格局:CR4超80%,包括林德集團(德)、液化空氣(法)、空氣化工(美)、大陽日酸(日)。

(4)國內頭部:中船特氣、華特氣體、雅克科技、和遠氣體、金宏氣體。

2.6 靶材

(1)作用:物理氣相沉積(PVD)工藝中的粒子源,靶材原子被濺射并沉積形成薄膜,用于互連層、阻擋層、導電層制備。

(2)分類:金屬靶材(鋁靶、銅靶、鈦靶、鎢靶等)、合金靶材、陶瓷靶材。

(3)全球格局:CR5超80%,包括日礦金屬(日)、東曹(日)、霍尼韋爾(美)等。

(4)國內頭部:江豐電子、有研新材、阿石創、歐萊新材。

2.7 拋光材料

(1)作用:用于化學機械拋光(CMP)工藝,實現晶圓表面納米級平整。

(2)分類:拋光墊、拋光液。

(3)全球格局:拋光液CR3超90%(卡博特、日立、Fujimi);拋光墊 CR2超90%(陶氏、卡博特)。

(4)國內頭部:鼎龍股份、安集科技。

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