一個從甘肅隴南大山里走出來的孩子，以市應屆高考狀元的成績考入中國科學技術(shù)大學，在中科大度過了整整九年時光，而后赴日，在NIMS一年內(nèi)拿下終身職位，成為那里歷史上最年輕的永久研究員。

十多年后，他做出了一個讓國際同行感到震驚的決定：辭去這份放眼全球都難以復制的鐵飯碗，帶著整建制的科研團隊，回國了。

那條人跡罕至的技術(shù)路

達博所深耕的方向，在國內(nèi)長期處于一種奇特的狀態(tài)：人人都知道它重要，但真正做到一線的人少之又少。

半導體裝備的關(guān)鍵材料與核心部件，是整個芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中最難被外界看見的那一層。國內(nèi)企業(yè)在刻蝕機整機設(shè)計、光刻機集成等層面已有長足進步，但深入到裝備內(nèi)部那些與等離子體、腐蝕氣體、高溫和高真空環(huán)境直接接觸的材料與部件，自主制備能力依然高度依賴日本進口。

達博的經(jīng)歷，恰恰覆蓋了這個領(lǐng)域最硬核的那些問題。他在NIMS主導泛林集團與NIMS的聯(lián)合研發(fā)項目，攻關(guān)臺積電3nm量產(chǎn)線中刻蝕設(shè)備核心材料，是2022年之后極少數(shù)仍能深度參與國際半導體一線產(chǎn)業(yè)項目的中國籍學者。

更罕見的是，他在技術(shù)層面走出了一條別人沒有走過的路。面對電子束設(shè)備中可被有效利用的束流比例極低這一根本瓶頸，達博選擇從材料本身的晶體結(jié)構(gòu)出發(fā)。他制備出一種圓柱對稱旋轉(zhuǎn)晶體，開創(chuàng)了"衍射電子光學"這一全新分支方向，讓薄膜材料本身具備了類似電子凸透鏡的聚焦功能。

傳統(tǒng)方案中，熱場發(fā)射燈絲發(fā)出的電子束流是毫安量級，但真正能被有效探測利用的只有納安量級，兩者之間相差整整一百萬倍。理論估算顯示，新方案有望將可被有效聚焦利用的束流強度提高數(shù)萬倍乃至十萬倍。

NIMS時任理事長橋本和仁將其評價為"具有與準晶發(fā)現(xiàn)相當?shù)脑瓌?chuàng)性意義"。要知道，準晶的發(fā)現(xiàn)在2011年摘下了諾貝爾化學獎。

為什么偏偏是現(xiàn)在

達博回國的時機，踩在了一個很精準的位置上。

臺積電正在推進1.4nm等下一代制程，半導體制程加速逼近亞納米尺度。在這個尺度上，先進制程與成熟制程的本質(zhì)邏輯已經(jīng)發(fā)生了根本轉(zhuǎn)變。前者是"長板驅(qū)動"，某幾個部件足夠強就可以蓋過短板；而后者是"短板致死"，裝備中任何一個材料與部件的微弱失效，都可能讓整條量產(chǎn)線的良率崩盤。

這意味著，真正的競爭正在從整機設(shè)計向底層材料下沉。

與此同時，國內(nèi)的電子束量檢測設(shè)備領(lǐng)域，國產(chǎn)化整機能力基本處于空白狀態(tài)。這個領(lǐng)域的重要性還在持續(xù)上升：由于國內(nèi)暫未實現(xiàn)EUV商用落地，主要采用DUV多重曝光路線，每多一道曝光工序就多一次良率風險，對檢測覆蓋率的要求遠高于國際廠商的通行標準。

國內(nèi)頭部半導體設(shè)備企業(yè)的負責人曾私下對達博說，哪怕只是方向性的行業(yè)經(jīng)驗，都可能幫國內(nèi)省下幾百萬乃至幾千萬的研發(fā)成本。這就像魔方，知道解法和盲目摸索，差距是本質(zhì)性的。

恰在此時，泛林集團在得知他決意辭職后，隨即再次提出無償捐贈支持，希望他留下繼續(xù)推進合作研究。多家海外企業(yè)也同步拋出優(yōu)厚條件。

但這些因素，已經(jīng)不能改變達博的決定。

不是一個人回來，是一套體系回來

值得注意的是，這次回國不是一個學者的個人選擇，而是一支完整團隊的集體遷移。

從2016年起，達博就開始有意識地在NIMS組建團隊，將同門師兄弟通過人才引進的方式聚攏在一起。多年協(xié)作形成的默契，讓這支隊伍具備了從基礎(chǔ)研究到工程驗證的完整能力鏈條。回國前，部分成員已先期落地，參與合肥國鏡儀器科技有限公司等產(chǎn)業(yè)化平臺的建設(shè)。

整建制回國，在達博看來遠比聽起來要難。科研人員尚可憑論文與獎項被客觀評價，而工程人才的核心貢獻因涉密等原因往往無法公開，評價周期漫長，加之關(guān)鍵技術(shù)單靠個人無法落地，必須依托團隊從研發(fā)走向量產(chǎn)的全過程。"需要各方妥協(xié)讓步，但我們有共同的奮斗目標。"他說。

如今，達博已正式就任中國科學技術(shù)大學工程科學學院講席教授。他給自己和團隊定的目標不是只發(fā)頂級期刊論文，而是要把半導體關(guān)鍵裝備的核心材料與核心部件做到與國際相當?shù)乃剑瑯?gòu)建起從底層材料到量產(chǎn)部件完整的自主配套體系。

"如果能達成這個目標，我覺得這輩子的奮斗就值了。"

在亞納米的世界里，"看見"本身正在被重新定義。而他選擇回到起點，從材料出發(fā)，參與這一定義的重寫。