一個從甘肅隴南大山里走出來的孩子,以市應屆高考狀元的成績考入中國科學技術(shù)大學,在中科大度過了整整九年時光,而后赴日,在NIMS一年內(nèi)拿下終身職位,成為那里歷史上最年輕的永久研究員。
十多年后,他做出了一個讓國際同行感到震驚的決定:辭去這份放眼全球都難以復制的鐵飯碗,帶著整建制的科研團隊,回國了。
![]()
那條人跡罕至的技術(shù)路
達博所深耕的方向,在國內(nèi)長期處于一種奇特的狀態(tài):人人都知道它重要,但真正做到一線的人少之又少。
半導體裝備的關(guān)鍵材料與核心部件,是整個芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈中最難被外界看見的那一層。國內(nèi)企業(yè)在刻蝕機整機設(shè)計、光刻機集成等層面已有長足進步,但深入到裝備內(nèi)部那些與等離子體、腐蝕氣體、高溫和高真空環(huán)境直接接觸的材料與部件,自主制備能力依然高度依賴日本進口。
達博的經(jīng)歷,恰恰覆蓋了這個領(lǐng)域最硬核的那些問題。他在NIMS主導泛林集團與NIMS的聯(lián)合研發(fā)項目,攻關(guān)臺積電3nm量產(chǎn)線中刻蝕設(shè)備核心材料,是2022年之后極少數(shù)仍能深度參與國際半導體一線產(chǎn)業(yè)項目的中國籍學者。
更罕見的是,他在技術(shù)層面走出了一條別人沒有走過的路。面對電子束設(shè)備中可被有效利用的束流比例極低這一根本瓶頸,達博選擇從材料本身的晶體結(jié)構(gòu)出發(fā)。他制備出一種圓柱對稱旋轉(zhuǎn)晶體,開創(chuàng)了"衍射電子光學"這一全新分支方向,讓薄膜材料本身具備了類似電子凸透鏡的聚焦功能。
傳統(tǒng)方案中,熱場發(fā)射燈絲發(fā)出的電子束流是毫安量級,但真正能被有效探測利用的只有納安量級,兩者之間相差整整一百萬倍。理論估算顯示,新方案有望將可被有效聚焦利用的束流強度提高數(shù)萬倍乃至十萬倍。
NIMS時任理事長橋本和仁將其評價為"具有與準晶發(fā)現(xiàn)相當?shù)脑瓌?chuàng)性意義"。要知道,準晶的發(fā)現(xiàn)在2011年摘下了諾貝爾化學獎。
為什么偏偏是現(xiàn)在
達博回國的時機,踩在了一個很精準的位置上。
臺積電正在推進1.4nm等下一代制程,半導體制程加速逼近亞納米尺度。在這個尺度上,先進制程與成熟制程的本質(zhì)邏輯已經(jīng)發(fā)生了根本轉(zhuǎn)變。前者是"長板驅(qū)動",某幾個部件足夠強就可以蓋過短板;而后者是"短板致死",裝備中任何一個材料與部件的微弱失效,都可能讓整條量產(chǎn)線的良率崩盤。
這意味著,真正的競爭正在從整機設(shè)計向底層材料下沉。
與此同時,國內(nèi)的電子束量檢測設(shè)備領(lǐng)域,國產(chǎn)化整機能力基本處于空白狀態(tài)。這個領(lǐng)域的重要性還在持續(xù)上升:由于國內(nèi)暫未實現(xiàn)EUV商用落地,主要采用DUV多重曝光路線,每多一道曝光工序就多一次良率風險,對檢測覆蓋率的要求遠高于國際廠商的通行標準。
國內(nèi)頭部半導體設(shè)備企業(yè)的負責人曾私下對達博說,哪怕只是方向性的行業(yè)經(jīng)驗,都可能幫國內(nèi)省下幾百萬乃至幾千萬的研發(fā)成本。這就像魔方,知道解法和盲目摸索,差距是本質(zhì)性的。
恰在此時,泛林集團在得知他決意辭職后,隨即再次提出無償捐贈支持,希望他留下繼續(xù)推進合作研究。多家海外企業(yè)也同步拋出優(yōu)厚條件。
但這些因素,已經(jīng)不能改變達博的決定。
不是一個人回來,是一套體系回來
值得注意的是,這次回國不是一個學者的個人選擇,而是一支完整團隊的集體遷移。
從2016年起,達博就開始有意識地在NIMS組建團隊,將同門師兄弟通過人才引進的方式聚攏在一起。多年協(xié)作形成的默契,讓這支隊伍具備了從基礎(chǔ)研究到工程驗證的完整能力鏈條。回國前,部分成員已先期落地,參與合肥國鏡儀器科技有限公司等產(chǎn)業(yè)化平臺的建設(shè)。
整建制回國,在達博看來遠比聽起來要難。科研人員尚可憑論文與獎項被客觀評價,而工程人才的核心貢獻因涉密等原因往往無法公開,評價周期漫長,加之關(guān)鍵技術(shù)單靠個人無法落地,必須依托團隊從研發(fā)走向量產(chǎn)的全過程。"需要各方妥協(xié)讓步,但我們有共同的奮斗目標。"他說。
如今,達博已正式就任中國科學技術(shù)大學工程科學學院講席教授。他給自己和團隊定的目標不是只發(fā)頂級期刊論文,而是要把半導體關(guān)鍵裝備的核心材料與核心部件做到與國際相當?shù)乃剑瑯?gòu)建起從底層材料到量產(chǎn)部件完整的自主配套體系。
"如果能達成這個目標,我覺得這輩子的奮斗就值了。"
在亞納米的世界里,"看見"本身正在被重新定義。而他選擇回到起點,從材料出發(fā),參與這一定義的重寫。
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺“網(wǎng)易號”用戶上傳并發(fā)布,本平臺僅提供信息存儲服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.