上海
6月1日消息，據(jù)韓媒報道，SK 海力士位于韓國忠清北道清州科技城的產(chǎn)業(yè)園區(qū)突發(fā)火災，截至周一清晨，事故已造成 7 人受傷！
據(jù)韓國消防部門及 SK 海力士方面初步通報，事發(fā)地點為清州 4 園區(qū)的半導體生產(chǎn)輔助設施——氣體室。該區(qū)域主要用于存放芯片制造過程中所需的各種特種氣體，其中就包括具有強腐蝕性和劇毒性的氟化氫。氟化氫在半導體工藝中常用于晶圓蝕刻和清洗，但一旦泄漏，會對人體呼吸道、皮膚及眼睛造成嚴重傷害，高濃度暴露甚至可能危及生命。
園區(qū)啟動噴淋裝置后，火勢得到控制，但現(xiàn)場泄漏了有毒氣體氟化氫，濃度達 5ppm，該濃度超出韓國雇傭勞動部規(guī)定的 3ppm 職業(yè)接觸限值。
截至發(fā)稿時，事故已造成 6 名現(xiàn)場人員受傷。傷者已被立即送往公司內部的醫(yī)務室及附近醫(yī)院接受治療。消防部門表示，已派出穿著防護服的隊員進入現(xiàn)場，對事故的具體原因和損壞情況進行深入調查。消防官員補充說，受傷人數(shù)仍有可能進一步增加。
目前，韓國消防、警方以及 SK 海力士方面正在對事故原因展開聯(lián)合調查。這家芯片工廠是全球主要的半導體生產(chǎn)基地之一，在 DRAM 和 NAND 閃存供應鏈中占據(jù)重要地位，此次事故是否會對其后續(xù)生產(chǎn)運營造成影響，備受市場關注。
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