在半導體與先進材料制造的賽道上,真空環境的純凈度,直接決定薄膜品質、器件良率與長期可靠性。分子束外延(MBE)、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等核心工藝,對微量氣體污染零容忍。RGA殘余氣體分析儀,正是捕捉痕量雜質、鎖定污染源頭、完成材料滲透率測試的“火眼金睛”。
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RGA殘余氣體分析儀
長期以來,高端殘余氣體分析市場被進口品牌占據,不僅成本高、交付慢,售后響應也難以匹配國內產線節奏。隨著國產替代加速,一批深耕質譜技術的企業迎頭趕上,上海愛柯銳(ACT)便是其中的標桿力量。
愛柯銳自成立起,便專注質譜技術研發與產業化落地。核心團隊匯聚高校、科研院所及真空行業資深專家,平均擁有十年以上研發經驗,深諳半導體制程與真空檢測的底層邏輯。從離子源設計到檢測器優化,從算法迭代到系統集成,團隊堅持自主創新,打造出適配國內科研與量產場景的PGT系列RGA殘余氣體分析儀,以硬核性能打破進口依賴,為用戶提供高性價比的完整解決方案。
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RGA殘余氣體分析儀
PGT系列覆蓋PGT100F、PGT100M、PGT200F、PGT200M四款機型,精準匹配實驗室研發與規模化產線的不同需求。100/200amu雙檔質量數范圍,可全面覆蓋工藝氣體、污染物及分解產物檢測;分辨率優于1amu,能清晰區分相近質量數氣體,讓鑒別痕跡污染物更精準。
儀器采用涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲可選配置,兼顧耐用性與抗中毒能力,適配復雜真空工況。FC與EM兩種檢測器模式靈活切換,FC模式靈敏度達2.3E-6A/Pa,EM模式更是高達3.8A/Pa,最小可檢測分壓低至2E-12Pa,輕松捕捉極微量氣體,完美支撐材料滲透率測試等高精度實驗。
嚴苛工況下的穩定性,是RGA的核心價值。PGT系列傳感器最高可耐受200℃工作溫度,支持300℃高溫烘烤,徹底消除腔體放氣干擾;溫度系數<1%/℃,長時間運行數據漂移極小,2ms高速數據采集,可實時追蹤工藝過程氣體變化,最大工作壓強達6.7E-2Pa,兼容各類真空系統。整機采用24V直流供電,安裝簡潔、適配性強,無縫對接MBE、PVD、CVD、ALD等設備。
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RGA殘余氣體分析儀
憑借穩定可靠的品質與完善的服務體系,愛柯銳PGT系列RGA已進入國內眾多高校、科研院所及頭部半導體企業,成為薄膜沉積、真空質控、材料分析等場景的首選設備。公司構建穩定的國產化供應鏈,在保證性能比肩進口產品的同時,大幅降低采購與運維成本,交付更快、售后更及時,真正做到“國產高性能、全球競爭力”。
從實驗室前沿研究到工廠量產質控,從痕量污染溯源到材料滲透率評估,愛柯銳以技術初心守護真空純凈,以國產匠心賦能先進制造。未來,愛柯銳將持續深耕質譜與真空檢測領域,不斷迭代升級PGT系列RGA殘余氣體分析儀,為中國半導體及新材料產業自主可控,貢獻堅實的儀器力量。
PGT系列RGA核心技術參數一覽
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