央視上月播了ASML那臺180噸重的EXE:5200B光刻機拆運全過程,連真空艙門怎么校準都拍得清清楚楚。不是炫技,是把以前捂著蓋著的東西全攤開給你看。同步看到的是ASML財報:中國區營收從2025年占全球三分之一,掉到今年一季度只剩不到五分之一。
設備越捂越緊,市場反而掉得越快。這說明什么?說明別人卡脖子的手,可能正把自己手腕擰脫臼。
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以前說造不出EUV,是因為光源得靠上海光源那種龐然大物,一個廳那么大,還得國家專門建加速器。現在浙大的實驗室里,一臺冰箱大小的裝置,能穩定輸出EUV波段光,不是閃一下就滅,是能連續打幾十小時不飄移。關鍵不是“做出”,而是“能用”——后面鍍膜、檢測、光學系統測試,全靠這束光來驗。
上海微電子的28nm DUV光刻機,去年底送到中芯國際天津廠,今年上半年已在產線上跑滿三班。國產芯片廠用它做汽車MCU、工業PLC、電源管理芯片,良率壓在98%以上,套刻精度2.5納米,比ASML早年同類型機器還強半格。這不是“能用就行”,是“比原來還好用”。
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有人還喊“28nm落后”,可現實是:中國80%以上的芯片需求,根本不需要3nm。要的是車規級穩定、工廠里扛灰塵、電網波動時照樣干活的芯片。這些芯片不用擠在最尖端產線上,它們自己撐起一條完整產線——從光刻膠到掩膜板,從離子注入機到刻蝕設備,國產率已超八成。
華為新出的昇騰910C,里面四塊芯粒疊在一起,RISC-V CPU、AI加速器、高速IO、內存控制器,各干各的活,用的是28nm基底+先進封裝。這不是退而求其次,是換了個算法算算力:不比單顆芯片塞多少晶體管,比同樣功耗下,一整塊封裝能干多少活。
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長電科技的封裝線,國產設備占六成以上;通富微電自己設計的熱壓焊頭,換一次能干兩周不停機;連最頭疼的硅通孔(TSV)刻蝕,合肥芯碁的設備也進了產線驗證階段。
西方還在算“我們領先幾年”,中國這邊,浙大的光源、上海微電子的光刻機、華為的封裝,三件事之間沒有誰等誰。它們像三股同時涌出的水,在沒畫圖紙的地方自然匯成一條河。
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ASML中國銷售最近會議紀要里有句話:“客戶訂的不是機器,是要能流片、能賣貨、能回款的整條線。”這話挺實在。
富凱說“中國落后五年”,溫寧克說“十年也追不上”,但財報不會撒謊。市場份額掉了,不是因為中國沒買,是因為廠子不需要再買了。
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封鎖的墻砌得越高,墻根下的野草長得越密。
28nm不是終點,是第一塊真正屬于自己的地基。
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桌面光源、產線光刻機、芯粒封裝,三樣東西湊一塊兒,才發現原來說的“卡脖子”,卡的不是某一個點,而是整條路的想象力。
現在廠里工人調參數不查英文手冊了,改看中文接口;工程師交接班,拿的不是進口設備維修包,是上海微電子自己出的排故圖譜;連大學實驗室打樣,也不用排隊等國外光源機時,自己接上電就能做。
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